公开(公告)号：CN114752915A

公开(公告)日：2022-07-15

申请号：CN202110031127.X

申请日：2021-01-11

Applicant: 宁波材料所杭州湾研究院 ,  中国科学院宁波材料技术与工程研究所

Inventor： 江南 ,  邓丽芬 ,  王博 ,  易剑 ,  李赫

IPC: C23C16/27 ,  C23C16/50 ,  C23C16/511

Abstract: 本申请公开了一种制备沉积材料的方法、化学气相沉积装置。所述制备沉积材料的方法，包括：将原料气体经过加热方式I和加热方式Ⅱ处理，即可得到所述沉积材料；其中，所述加热方式I选自低频微波加热、火焰加热、热丝加热、直流加热中的至少一种；所述加热方式Ⅱ为高频微波加热；所述低频微波加热的频率为800MHz～2.45GHz；所述高频微波加热的频率为10GHz～340GHz。所述方法通过引入高频微波加热方式加强气体等离子能量密度，从而提高化学气相沉积速率。

公开(公告)号：CN118792733A

公开(公告)日：2024-10-18

申请号：CN202311582534.5

申请日：2023-11-24

Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

Inventor： 邓丽芬 ,  郝敬林 ,  吴及时 ,  崔喜伟 ,  毛荣琪 ,  赵思壮

IPC: C30B29/04 ,  C30B1/12

Abstract: 本发明公开了一种针条状单晶金刚石及其制备方法，属于人造金刚石技术领域，该针条状单晶金刚石的制备方法包括以下步骤：(1)将芯柱和合成块组装后得到组装块，芯柱包括两端的隔热材料和隔热材料之间的碳源和触媒；(2)将组装块放入静高压设备中先加压至≥5GPa，再升温至≥1000℃，控制金刚石成核，保温保压进行金刚石的定向生长，生长时间≥30min；(3)生长结束后，降温降压后取出试样，去除剩余的碳源和触媒，得到所述的针条状单晶金刚石。本发明方法步骤简单高效，且不使用晶种，制得的针条状金刚石单晶长径比≥4，产出率高。