一种可增加MEMS超级电容器电极比表面积的斜光刻方法

    公开(公告)号:CN104599864B

    公开(公告)日:2017-10-24

    申请号:CN201510030621.9

    申请日:2015-01-22

    CPC classification number: Y02E60/13

    Abstract: 本发明提供了一种可增加MEMS超级电容器电极比表面积的斜光刻方法,包括如下步骤:首先在清洁烘干后的硅基底上旋涂一定厚度的光刻胶,然后将旋涂有光刻胶的硅片固定在一个特别设计的铸钢架上,钢架倾斜角度为15°,之后对硅片上的光刻胶进行两次曝光,第一次曝光完成后将硅片在其所在平面内旋转180°,进行第二次曝光,两次曝光结束即完成了斜光刻的曝光过程,最后显影形成“X”型三维电极阵列结构,并制备三维微电极。本发明从设计工艺的角度出发,通过改进曝光方式来提高三维阵列结构的比表面积,相比传统垂直电极阵列结构,“X”型阵列表现出深宽比高、比表面积大而且结构稳定等特点。因此,该结构在MEMS超级电容器电极结构设计中可被广泛采用。

    一种基于压电技术的自供电无线液压用压力传感器

    公开(公告)号:CN107121222A

    公开(公告)日:2017-09-01

    申请号:CN201710266146.4

    申请日:2017-04-21

    CPC classification number: G01L1/16

    Abstract: 本发明提供的一种基于压电技术的自供电无线液压用压力传感器,包括:传感器本体和传感器金属头,所述传感器本体包括:具有空腔的封装壳体,封装壳体的空腔内设有过渡膜,过渡膜将空腔分隔为油液腔和绝缘腔,绝缘腔内设有电路板和压电模块,压电模块呈圆柱体状且横置在绝缘腔内,呈圆柱形的压电模块的一端紧贴过渡膜;油液腔内设有过滤元件,传感器金属头开有阻尼孔,阻尼孔通过过滤元件与封装壳体的空腔相连通;电路板上设有能量管理模块、信号处理模块和无线传输模块,压电模块包括压力传感单元和压电俘能器单元;本发明既不需要信号线进行信号传输,又不需要电源线进行供电,适用于压力传感领域。

    一种钼掺杂氧化钨气敏材料的制备方法

    公开(公告)号:CN105712405B

    公开(公告)日:2017-03-08

    申请号:CN201610006729.9

    申请日:2016-01-06

    Abstract: 本发明涉及一种钼掺杂氧化钨气敏材料的制备方法,是针对单一组分的氧化钨气敏材料灵敏度低、响应速度慢、选择性差的缺陷,采用在氧化钨内掺杂钼元素,以氯化钨、钼酸铵为原料,经水热合成、真空煅烧、研磨过筛,制成纳米级钼掺杂氧化钨气敏材料,此制备方法工艺先进,数据精确翔实,产物为淡黄色粉体,粉体颗粒直径≤200nm,产物纯度高,达99.5%,气敏性好,对10ppm硫化氢的灵敏度达26.5,可在多种气体传感器中使用,是十分先进的制备钼掺杂氧化钨气敏材料的方法。

    一种检测氢的金负载氧化锡纳米材料的制备方法

    公开(公告)号:CN105665734B

    公开(公告)日:2016-12-21

    申请号:CN201610006716.1

    申请日:2016-01-06

    Abstract: 本发明涉及一种检测氢的金负载氧化锡纳米材料的制备方法,是针对氢气检测气敏材料存在灵敏度低、响应速度慢、稳定性差的情况,采用锡酸钾、氯金酸、葡萄糖为原料,经反应釜水热合成、真空热处理、研磨过筛,制成金负载氧化锡纳米材料,此制备方法工艺先进,数据精确翔实,产物为紫黑色晶体,晶体颗粒直径≤80nm,产物纯度好,达99.6%,材料对100ppm氢气气敏灵敏度达25,响应时间为1s,恢复时间为3s,灵敏度高,响应恢复速度快,可在检测氢的气体传感器中使用,是十分先进的金负载氧化锡纳米材料的制备方法。

    人体体液癌症标记物检测装置

    公开(公告)号:CN103674991B

    公开(公告)日:2016-10-05

    申请号:CN201310579839.0

    申请日:2013-11-19

    Abstract: 本发明涉及一种人体体液癌症标记物检测装置,解决了现有检测装置造价昂贵、体积庞大、检测繁琐、检测结果不准确等问题。该装置包括磁弹性生物试纸、微控制器、线圈支架、增强型阻抗转换器、电源电路、直流偏置电路、按键和液晶屏幕,线圈支架上缠绕有直流偏置线圈和交流激励线圈,磁弹性生物试纸插设于线圈支架内,磁弹性生物试纸上设有磁致伸缩材料薄片,磁致伸缩材料薄片上修饰有与待测癌症标记物对应的抗体。该装置中的磁致伸缩材料成本低、灵敏度高、检测精度高,能够快速准确检测体液中癌症标记物的数量,避免重复性使用的繁琐和误差。此外,该装置体积小,便于便携式检测,降低了噪声干扰,提高了对磁弹性生物试纸检测的准确性和可靠性。

    一种多悬臂梁压电换能器电路

    公开(公告)号:CN103715941B

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:CN201410005945.2

    申请日:2014-01-07

    Abstract: 本发明涉及压电换能电路,具体为一种多悬臂梁压电换能器电路,该电路包括压电换能器模块、整流模块、电压控制模块、稳压模块和负载模块,压电换能器模块由n个压电换能器组成,从而可在n个不同的频点将振动能转化为电能,提高能量转化效率;整流模块由n个整流电路组成,电压控制模块由运算放大器和场效应管组成,利用运算放大器作为滞回比较器,控制场效应管的打开与关断;稳压模块由整流二极管、滤波器和稳压二极管组成,负载选择为发光二极管、微型传感器等一些低功耗微纳电子器件,本发明的最大平均采集功率的理论值是标准能量采集电路的12倍,可用于解决多悬臂梁压电换能器中能量的转化与调协输出问题,提高能量的转化与利用效率。

    一种非对称超级电容器制备方法

    公开(公告)号:CN104681304A

    公开(公告)日:2015-06-03

    申请号:CN201510122091.0

    申请日:2015-03-20

    Abstract: 本发明涉及微机电系统技术领域,具体为一种非对称超级电容器制备方法,包括如下步骤:先准备两片相同的清洁烘干后的硅片基底,将其中一硅片基底的表面氧化形成二氧化硅绝缘层,并沉积一层金属钛,然后阳极氧化形成有序的TiO2纳米管,在TiO2纳米管内沉积NiO,制备得到TiO2纳米管电极;在另一硅片基底上均匀旋涂SU-8胶,然后对此SU-8胶进行光刻处理,形成六面体柱状阵列结构,将此阵列结构进行炭化,制备得到炭化电极,最后将TiO2纳米管电极和炭化电极以PP膜隔开,并填充电解质组装成非对称超级电容器。本发明综合利用了法拉第准电容原理和双电层原理,所制备的两个电极均能形成多孔结构,相比传统的基于双电层原理的超级电容器更大地提高了比电容。

    具有纳米枝晶拉曼基底的微流控芯片及其制作方法

    公开(公告)号:CN104492509A

    公开(公告)日:2015-04-08

    申请号:CN201410657689.5

    申请日:2014-11-18

    Abstract: 本发明涉及具有纳米枝晶拉曼基底的微流控芯片及其制作方法;解决的技术问题为:提供一种具有较高SERS活性、且可直接在微流道内制备纳米枝晶拉曼基底的微流控芯片及其制作方法;采用的技术方案为:具有纳米枝晶拉曼基底的微流控芯片,芯片上设有至少一条微流道,微流道的一端设有至少一个样品池,各样品池均与微流道相连通但彼此之间不相连通,微流道的另一端设有至少一个废液池,各废液池均与微流道相连通但彼此之间不相连通,微流道上设有至少一个生长池,微流道均从每个生长池中穿过,生长池内设有至少一对具有尖端的第一电极,每一对中的两个第一电极距离最近的尖端上均具有贵金属的纳米枝晶结构;本发明适用于微流控芯片的技术领域。

    一种室温硫化氢气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN115791898A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202211427794.0

    申请日:2022-11-15

    Abstract: 本发明公开一种室温硫化氢气体传感器及其制备方法,制备方法包括:获取包含金叉指电极的PET柔性基底;配置Co2.4Cu0.6(HITP)2导电MOF反应溶液,将包含金叉指电极的PET柔性基底置于Co2.4Cu0.6(HITP)2导电MOF反应溶液中,获取带有Co2.4Cu0.6(HITP)2导电MOF薄膜的PET柔性基底;基于带有Co2.4Cu0.6(HITP)2导电MOF薄膜的PET柔性基底与CuO量子点反应液,获取CuO量子点修饰Co2.4Cu0.6(HITP)2导电MOF薄膜气体传感器。本发明能解决现有技术中MOF基传感器导电性差、室温灵敏度低,选择性差等导致传感器性能欠佳的问题。

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