煤矿气体传感器的智能化干扰测试装置及方法

    公开(公告)号:CN112162060A

    公开(公告)日:2021-01-01

    申请号:CN202010930654.X

    申请日:2020-09-07

    Abstract: 本发明提供了一种煤矿气体传感器的智能化干扰测试装置及方法,测试装置包括:配气组件,提供标定气体和至少一种干扰气体;混气组件,混气组件内限定有与配气组件连通的混气腔室,标定气体和干扰气体被输送至混气腔室内进行混合得到混合气体;检测室,内部限定有检测腔室与混气腔室连通以通入混合气体;测试件传感器,测试实际通入检测腔室内的该种气体的浓度值;至少一个标准件传感器,与干扰气体相对应;数据采集和控制模块,采集气体测试数据并比对对于同一种干扰气体的测试件传感器和标准件气体传感器获取的气体测试数据以判断是否存在气体交叉干扰,气体测试数据包括响应时间及恢复时间,多次测试的重复性。根据本发明实施例的测试系统,稳定性强、自动化水平高。

    一种抗气体干扰型MEMS气体传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN112162015B

    公开(公告)日:2024-06-11

    申请号:CN202010931457.X

    申请日:2020-09-07

    Abstract: 本申请揭示了一种抗气体干扰型MEMS气体传感器及制备方法,该方法包括:在氧化层的表面沉积形成一层金属电极层;利用化学气相沉积法,在金属电极层的表面沉积一层绝缘层;在绝缘层表面沉积一层气敏材料层;利用涂布或印刷的方式,在气敏材料层表面沉积一层分离膜,分离膜的纳米通道的孔径小于干扰气体分子的运动直径。本申请通过在制作MEMS气体传感器时,增加了分离膜,该分离膜的纳米通道的孔径小于干扰气体分子的运动直径,从而使得干扰气体分子在分离膜的纳米通道内发生大量碰撞,无法通过分离膜,从而实现对干扰气体的阻隔,避免干扰气体对传感器内敏感材料的影响,提高了热式传感器的准确性,使热式传感器对目标气体选择性较好。

Patent Agency Ranking