公开(公告)号：CN115922559A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202211529499.6

申请日：2022-11-30

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 郭江 ,  康仁科 ,  潘博 ,  连佳乐 ,  司立坤 ,  高菲

IPC: B24B37/34 ,  B24B37/005 ,  B24B37/08 ,  B24B49/00 ,  B24B55/00 ,  B24B51/00

Abstract: 本发明公开了一种用于双面研磨机的局部压力实时监测与控制方法，包括以下步骤：检测和分析上研磨盘和下研磨盘静止条件下接触面的局部压力数据；测量加载时的上研磨盘和下研磨盘分别与工件之间的局部压力；实时采集加工过程中的局部压力数据；采用合适的方法对研磨垫面形进行修整。本发明通过网格式薄膜压力传感器采集局部压力，并通过数字阵列的形式呈现研磨盘表面压力分布情况，直观清晰。本发明在加工前，即可排除研磨盘盘面杂质划伤工件及研磨盘面形不佳而影响工件加工质量的问题，可减少不必要的实验成本。本发明实时监测工件与研磨盘接触面局部压力，当出现异常时及时停止加工，避免工件崩碎、甚至碎片破坏其他工件而造成的经济损失。