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公开(公告)号：CN1928475A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200610108181.5
申请日：2006-07-31
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Inventor： 柿村崇
Abstract: 本发明提供一种防止在对基板上的处理液进行干燥时产生处理液不匀的减压干燥装置。该减压干燥装置具有2个可以升降的支承板和3个被固定配置的固定板。在干燥处理时，支承板的上表面和固定板的上表面的高度一致，形成一个支承基板的支承面。在干燥处理时，该支承面面接触基板的整个背侧，支承基板。因此，在基板的背侧不形成空间，不产生气流，可以防止处理液不匀。另外，在交接基板时，支承板上升，由支承板的上表面面接触基板的背侧来支承基板。因此，不必形成支承销的贯通孔等，可以简化装置结构，也可以防止以贯通孔为起因的处理液不匀。
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