公开(公告)号：CN1801399A

公开(公告)日：2006-07-12

申请号：CN200510135302.0

申请日：2005-12-27

Applicant: 独立行政法人产业技术总合研究所 ,  精工电子纳米科技有限公司

Inventor： 秋永广幸 ,  仙波靖之 ,  横山浩 ,  安武正敏 ,  仓持宏实

IPC: G12B21/10 ,  G12B21/02 ,  B81B7/02 ,  H01L21/00 ,  B05D7/24 ,  B82B3/00

CPC classification number: G01Q60/56 ,  G01Q70/12 ,  Y10S977/84 ,  Y10S977/842 ,  Y10T428/30

Abstract: 本发明提供一种用于扫描磁力显微镜的探针，它具有足够的分辨率而能够观察1200kFCI或更高记录密度的磁性储存介质；一种制备探针的方法，以及在碳纳米管上形成铁磁合金膜的方法。在本发明的内容中，用于扫描磁力显微镜的探针包含其表面至少部分涂覆有铁磁合金膜的碳纳米管，该铁磁合金膜由Co－Fe和Co－Ni合金中的任何一种组成，其中铁磁合金膜的表面算术平均粗糙度(Ra 10μm)控制在1.15nm或更小。还公开了一种制备该用于扫描磁力显微镜的探针的方法，和在碳纳米管上形成该铁磁合金膜的方法，从而通过控制铁磁合金膜的生成速率在1.0－2.5nm/min的范围内来达到该平均表面粗糙度。

公开(公告)号：CN1801399B

公开(公告)日：2010-05-05

申请号：CN200510135302.0

申请日：2005-12-27

Applicant: 独立行政法人产业技术总合研究所 ,  精工电子纳米科技有限公司

Inventor： 秋永广幸 ,  仙波靖之 ,  横山浩 ,  安武正敏 ,  仓持宏实

IPC: G12B21/10 ,  G12B21/02 ,  B81B7/02 ,  H01L21/00 ,  B05D7/24 ,  B82B3/00

CPC classification number: G01Q60/56 ,  G01Q70/12 ,  Y10S977/84 ,  Y10S977/842 ,  Y10T428/30

Abstract: 本发明提供一种用于扫描磁力显微镜的探针，它具有足够的分辨率而能够观察1200kFCI或更高记录密度的磁性储存介质；一种制备探针的方法，以及在碳纳米管上形成铁磁合金膜的方法。在本发明的内容中，用于扫描磁力显微镜的探针包含其表面至少部分涂覆有铁磁合金膜的碳纳米管，该铁磁合金膜由Co-Fe和Co-Ni合金中的任何一种组成，其中铁磁合金膜的表面算术平均粗糙度(Ra 10μm)控制在1.15nm或更小。还公开了一种制备该用于扫描磁力显微镜的探针的方法，和在碳纳米管上形成该铁磁合金膜的方法，从而通过控制铁磁合金膜的生成速率在1.0-2.5nm/min的范围内来达到该平均表面粗糙度。