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11.

发明公开
光学部件的缺陷检测方法和缺陷检测装置无效

公开(公告)号：CN1769854A

公开(公告)日：2006-05-10

申请号：CN200510119378.4

申请日：2005-11-02

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 三宅知之 , 南功治 , 平野兼史 , 中田泰男 , 仓田幸夫

IPC: G01M11/00 , G01N21/88

Abstract: 本发明揭示一种光学部件的缺陷检测方法和缺陷检测装置，判断部(13)使入射区(19)的叠层方向的尺寸L1大于光学部件(14)的导光层(22)的厚度L2的方式入射。即使检测用的光(18)的入射位置的定位精度低也能入射到导光层(22)。判断部(13)又使检测用的光(18)以小于光学部件(14)的叠层方向的尺寸L3的方式入射。能防止例如灰尘、伤痕等光学部件(14)中叠层方向Z的两个端面的散射因素使检测用的光(18)散射。因此，可通过检测从光学部件(14)出射的光，高精度检测出光学部件(14)的缺陷(25)。

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