公开(公告)号：CN118999365A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202411099478.4

申请日：2024-08-12

Applicant: 哈尔滨工业大学 ,  哈工大郑州研究院

Inventor： 付海金 ,  王子乔 ,  胡鹏程 ,  陈仪松 ,  熊信慷 ,  王铮

IPC: G01B11/02 ,  G01B9/02015

Abstract: 一种完全等光程外差激光干涉仪及其测量方法，属于光学测量技术领域。为克服现有的非共光路外差激光干涉仪均难以满足光程完全平衡的问题,本发明偏振分光棱镜的上侧端面贴附有角锥棱镜、下侧端面贴附有四分之一波片、左侧端面贴附有第一补偿玻璃、第一二分之一波片，偏振分光棱镜的右侧端面并列贴附有第二补偿玻璃、第二二分之一波片；第一补偿玻璃、第一二分之一波片的左侧贴附有第一koester棱镜，第一koester棱镜的出光面贴附有第一偏振片；第二补偿玻璃、第二二分之一波片的右侧贴附有第二koester棱镜，第二koester棱镜的出光面贴附有第二偏振片；四分之一波片的输出光路上设置有第二反射镜、第一反射镜。