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公开(公告)号：CN113555197A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202110863862.7
申请日：2021-07-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种动磁钢式自驱动磁浮导轨装置及其控制方法，属于高端装备技术领域。四个导套支撑框架组合构成方形套，四个导套支撑框架的中部分别封装有I型电磁铁，永磁体封装在位于上方的导套支撑框架内；导轴支撑框架为长方体框架，导轴支撑框架的四个侧面沿长度方向均封装有多个E形组件；封装于导轴支撑框架上下两侧面的多个E形组件对称设置，封装于导轴支撑框架左右两侧面的多个E形组件对称设置，封装于导轴支撑框架的四个侧面的多个E形组件与封装于四个导套支撑框架中部的I型电磁铁分别相对设置，线圈绕组封装在导轴支撑框架上侧并位于E型组件的一侧，线圈绕组与永磁体相对设置。本发明用于超精密系统中。
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公开(公告)号：CN113029235B
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202110213939.6
申请日：2021-02-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 小行程纳米级运动台及热相关滞回数据测量方法，属于高端装备技术领域。左双极电磁铁的定子组件及两个尺蠖电机的定子组件均固定在左基础框架上，左双极电磁铁的动子组件及两个尺蠖电机的动子均固定在平台运动部件的左侧面；右双极电磁铁的动子组件固定在平台运动部件的右侧面，右双极电磁铁的定子组件固定在右基础框架上；平台运动部件固定装在气浮导轨的导套上；左、右双极电磁铁的定子组件内分别固定有电涡流传感器和霍尔传感器。方法是：温度设定；产生位移；工装固定；数据采集；数据计算处理；重复步骤一到步骤五，完成运动台在运动过程中，不同温度、位移条件下的电流‑力数据采集，完成表格绘制。本发明为运动台的高精度控制垫定基础。
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公开(公告)号：CN113029235A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202110213939.6
申请日：2021-02-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 小行程纳米级运动台及热相关滞回数据测量方法，属于高端装备技术领域。左双极电磁铁的定子组件及两个尺蠖电机的定子组件均固定在左基础框架上，左双极电磁铁的动子组件及两个尺蠖电机的动子均固定在平台运动部件的左侧面；右双极电磁铁的动子组件固定在平台运动部件的右侧面，右双极电磁铁的定子组件固定在右基础框架上；平台运动部件固定装在气浮导轨的导套上；左、右双极电磁铁的定子组件内分别固定有电涡流传感器和霍尔传感器。方法是：温度设定；产生位移；工装固定；数据采集；数据计算处理；重复步骤一到步骤五，完成运动台在运动过程中，不同温度、位移条件下的电流‑力数据采集，完成表格绘制。本发明为运动台的高精度控制垫定基础。
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