精密设备主动气磁隔振与阻尼防护转运装置

    公开(公告)号:CN115217891A

    公开(公告)日:2022-10-21

    申请号:CN202210835004.6

    申请日:2022-07-15

    Abstract: 本发明涉及一种精密设备主动气磁隔振与阻尼防护转运装置,属于转运设备技术领域,其技术方案包括车架、隔振平台、气浮隔振单元、被动阻尼器、高度检测与控制装置和处理器,所述隔振平台支撑被转运设备,还包括限位单元和电磁负刚度隔振单元,所述气浮隔振单元、被动阻尼器、限位单元、高度检测与控制装置和电磁负刚度隔振单元分别在车架的上底面和四个内侧面与所述隔振平台间并联间隔设置若干个。通过隔振单元的三向布置实现了三向隔振,采用正负刚度并联的形式降低了起始隔振频率,添加阻尼单元和限位单元提高了隔振性能,实现了强冲击作用下的安全防护,解决了现有技术在大型精密设备转运过程中不能实现三向精密隔振与冲击防护的转运问题。

    双模复合双层超精密温控装置

    公开(公告)号:CN115525075B

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202211218934.3

    申请日:2022-10-07

    Abstract: 双模复合双层超精密温控装置属于精密微环境控制技术领域;在密封良好的一级钢板密封箱外侧安装一级高效保温层,内侧安装循环介质管;在一级钢板密封箱内部,安装密封良好的二级钢板密封箱,在二级钢板密封箱外侧安装二级高效保温层,内侧安装辐射对流双模复合控温板;在一级钢板密封箱、二级钢板密封箱内侧均安装除湿装置、过滤净化装置及传感器组合;传感器组合将实时监测到的环境参数送到总控制器,总控制器以辐射对流复合方式调控一级钢板密封箱和二级钢板密封箱内部的温度;本装置解决了现有技术难以兼顾微环境温度的控制精度和效率的问题。

    双模复合低压超精密温控装置

    公开(公告)号:CN115963870B

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202211218933.9

    申请日:2022-10-07

    Abstract: 双模复合低压超精密温控装置属于微环境温控设备技术领域,包括密封箱和设置于密封箱内侧的核心发热部件;在密封箱的外侧,设置有抽真空装置,抽真空装置将密封箱内部的压强稳定在低压状态;在密封箱内侧壁上设置有多组辐射对流双模复合控温机构,辐射对流双模复合控温机构对所述密封箱内侧的温度进行调控;密封箱内侧设置有对密封箱内侧环境进行监测的监测组件;在密封箱外侧设置有控制器,控制器获取所述监测组件的测量结果,并基于测量结果控制所述辐射对流双模复合控温机构对密封箱内侧的温度进行调节。通过抽真空装置、辐射对流双模复合控温机构实现对密封箱内侧环境温度的复合控制。

    多模复合低压双层超精密温控装置

    公开(公告)号:CN115629634B

    公开(公告)日:2024-03-19

    申请号:CN202211218935.8

    申请日:2022-10-07

    Abstract: 多模复合低压双层超精密温控装置属于精密微环境控制技术;在密封良好的一级钢板密封箱外侧安装一级高效保温层,内侧安装循环介质管;在一级钢板密封箱内部,安装密封良好的二级钢板密封箱,在二级钢板密封箱外侧安装二级高效保温层,内侧安装辐射对流双模复合控温板;在一级钢板密封箱、二级钢板密封箱内侧均安装除湿装置、过滤净化装置及传感器组合,在一级钢板密封箱、二级钢板密封箱外安装抽真空装置;在二级钢板密封箱内安装冷却组件;传感器组合将实时监测到的环境参数送到总控制器,总控制器以传导辐射对流复合方式调控一级钢板密封箱和二级钢板密封箱内部的温度;本装置解决了现有技术难以兼顾微环境温度的控制精度和效率的问题。

    多模复合超精密温控装置
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN115629635B

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202211218942.8

    申请日:2022-10-07

    Abstract: 多模复合超精密温控装置属于微环境温控设备技术领域,包括密封箱和设置于密封箱内侧的核心发热部件;在密封箱内侧壁上设置有多组辐射对流双模复合控温机构,辐射对流双模复合控温机构对所述密封箱内侧的温度进行调控;密封箱内侧设置有对密封箱内侧环境进行监测的监测组件;在密封箱外侧设置有控制器,控制器获取所述监测组件的测量结果,并基于测量结果控制所述辐射对流双模复合控温机构、冷却组件对密封箱内侧的温度进行调节。通过辐射对流双模复合控温机构、冷却组件实现对密封箱内侧环境温度的复合控制。

    大型精密设备气浮隔振与主动阻尼转运装置

    公开(公告)号:CN115217892B

    公开(公告)日:2023-09-08

    申请号:CN202210835008.4

    申请日:2022-07-15

    Abstract: 本发明涉及一种大型精密设备气浮隔振与主动阻尼装置,属于转运设备技术领域,其技术方案包括车架、隔振平台、气浮隔振单元、高度检测与控制装置和处理器,所述隔振平台支撑被转运设备,还包括主动阻尼单元和限位单元,所述气浮隔振单元、主动阻尼单元、限位单元和高度检测与控制装置分别在车架的上底面和四个内侧面与所述隔振平台间并联间隔设置若干个。隔振单元的三向布置实现了三向隔振,能够保证转运过程中姿态恒定同时有效抑制摇摆晃动,添加主动阻尼单元实现了精密阻尼调控隔振,同时添加限位单元实现了强冲击作用下的安全防护,解决了现有技术在大型精密设备转运过程中不能实现三向精密隔振与冲击防护的转运问题。

    多模复合低压双层超精密温控装置

    公开(公告)号:CN115629634A

    公开(公告)日:2023-01-20

    申请号:CN202211218935.8

    申请日:2022-10-07

    Abstract: 多模复合低压双层超精密温控装置属于精密微环境控制技术;在密封良好的一级钢板密封箱外侧安装一级高效保温层,内侧安装循环介质管;在一级钢板密封箱内部,安装密封良好的二级钢板密封箱,在二级钢板密封箱外侧安装二级高效保温层,内侧安装辐射对流双模复合控温板;在一级钢板密封箱、二级钢板密封箱内侧均安装除湿装置、过滤净化装置及传感器组合,在一级钢板密封箱、二级钢板密封箱外安装抽真空装置;在二级钢板密封箱内安装冷却组件;传感器组合将实时监测到的环境参数送到总控制器,总控制器以传导辐射对流复合方式调控一级钢板密封箱和二级钢板密封箱内部的温度;本装置解决了现有技术难以兼顾微环境温度的控制精度和效率的问题。

    双模复合双层超精密温控装置

    公开(公告)号:CN115525075A

    公开(公告)日:2022-12-27

    申请号:CN202211218934.3

    申请日:2022-10-07

    Abstract: 双模复合双层超精密温控装置属于精密微环境控制技术领域;在密封良好的一级钢板密封箱外侧安装一级高效保温层,内侧安装循环介质管;在一级钢板密封箱内部,安装密封良好的二级钢板密封箱,在二级钢板密封箱外侧安装二级高效保温层,内侧安装辐射对流双模复合控温板;在一级钢板密封箱、二级钢板密封箱内侧均安装除湿装置、过滤净化装置及传感器组合;传感器组合将实时监测到的环境参数送到总控制器,总控制器以辐射对流复合方式调控一级钢板密封箱和二级钢板密封箱内部的温度;本装置解决了现有技术难以兼顾微环境温度的控制精度和效率的问题。

    双模复合低压双层超精密温控装置

    公开(公告)号:CN115542682B

    公开(公告)日:2024-05-17

    申请号:CN202211218941.3

    申请日:2022-10-07

    Abstract: 双模复合低压双层超精密温控装置属于精密微环境控制技术领域;在密封良好的一级钢板密封箱外侧安装一级高效保温层,内侧安装循环介质管;在一级钢板密封箱内部,安装密封良好的二级钢板密封箱,在二级钢板密封箱外侧安装二级高效保温层,内侧安装辐射对流双模复合控温板;在一级钢板密封箱、二级钢板密封箱内侧均安装除湿装置、过滤净化装置及传感器组合,在一级钢板密封箱、二级钢板密封箱外安装抽真空装置;传感器组合将实时监测到的环境参数送到总控制器,总控制器以辐射对流复合方式调控一级钢板密封箱和二级钢板密封箱内部的温度;本装置解决了现有技术难以兼顾微环境温度的控制精度和效率的问题。

    精密设备主动气磁隔振与阻尼防护转运装置

    公开(公告)号:CN115217891B

    公开(公告)日:2023-11-03

    申请号:CN202210835004.6

    申请日:2022-07-15

    Abstract: 本发明涉及一种精密设备主动气磁隔振与阻尼防护转运装置,属于转运设备技术领域,其技术方案包括车架、隔振平台、气浮隔振单元、被动阻尼器、高度检测与控制装置和处理器,所述隔振平台支撑被转运设备,还包括限位单元和电磁负刚度隔振单元,所述气浮隔振单元、被动阻尼器、限位单元、高度检测与控制装置和电磁负刚度隔振单元分别在车架的上底面和四个内侧面与所述隔振平台间并联间隔设置若干个。通过隔振单元的三向布置实现了三向隔振,采用正负刚度并联的形式降低了起始隔振频率,添加阻尼单元和限位单元提高了隔振性能,实现了强冲击作用下的安全防护,解决了现有技术在大型精密设备转运过程中不能实现三向精密隔振与冲击防护的转运问题。

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