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公开(公告)号：CN117075446A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311167654.9
申请日：2023-09-12
Applicant: 吉林大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种扫描干涉光刻光学系统，涉及微纳结构扫描干涉光刻的技术领域，解决现有扫描干涉光刻光学系统的组成复杂，参数调节存在耦合，控制难度大，增加了系统设计以及装调和研制的成本等问题，包括光学平台，固定在光学平台上的光学组件单元，精密转台以及控制系统；光学平台按照与精密转台旋转平面垂直的方向固定在精密转台上，光学系统主光轴为Z坐标轴且通过精密转台的回转中心；光学平台及光学组件单元跟随精密转台绕主光轴旋转；直角反射棱镜直角边镀有高反射膜层，直角反射棱镜的直角平分线沿着主光轴方向，精密平移台运动轴平行于主光轴方向，可带动直角反射棱镜沿主光轴平移。本发明对提升扫描干涉光刻系统研制及工艺水平，具有重要意义。
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公开(公告)号：CN106996841B
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN201710387672.6
申请日：2017-05-27
Applicant: 吉林大学
IPC: G01L1/24
Abstract: 本发明涉及一种具有自洽功能的钻孔式光纤三维地应力观测装置，属于传感器领域。四分量探头A、B、C之间通过螺纹及平键连接，且探头A、B沿轴向旋转成90°。每个四分量探头分别承载四个应变传感单元，四分量探头A、B上的四个应变传感单元分别组成两组直角应变花；四分量探头C上的四个应变传感单元组成两组等角应变花。应变传感单元由光纤光栅封装到碳纤维复合材料的凹槽内制作而成。优点在于：具有自洽功能，可以直接监测地下岩层空间应力的大小与方向，具体可以应用于对大型边坡岩体稳定性监测、地震断裂带地层应力监测、山体滑坡监测等。大大减少人民生命伤亡与财产的损失。
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公开(公告)号：CN114740557A
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202210041105.6
申请日：2022-01-14
Applicant: 吉林大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 消像差变栅距光栅扫描光刻条纹线密度设计方法，涉及全息光栅制作的技术领域，本发明提出消像差变栅距光栅扫描光刻的干涉条纹线密度设计方法，利用该方法可根据变栅距光栅刻槽密度目标函数，完成扫描光刻过程中干涉条纹线密度函数的设计，按此干涉条纹线密度设计函数，变化干涉条纹的线密度，最终得到的变周期光栅刻槽密度满足光栅刻槽密度目标函数的要求。按照本方法可设计光刻干涉条纹的线密度变化规律。提高变栅距光栅的刻槽密度的精度，保证曝光对比度工艺参数的可控性，对提升变栅距光栅扫描光刻制作水平，提高光栅制作成功率具有重要意义。
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公开(公告)号：CN114415278A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202210041023.1
申请日：2022-01-14
Applicant: 吉林大学
Abstract: 平面变栅距光栅扫描光刻干涉条纹线密度设计方法，涉及全息光栅制作的技术领域，本发明提出平面变栅距光栅扫描光刻的干涉条纹线密度设计方法，利用该方法可根据变栅距光栅刻槽密度目标函数，完成扫描光刻过程中干涉条纹线密度函数的设计，按此干涉条纹线密度设计函数，变化干涉条纹的线密度，最终得到的变周期光栅刻槽密度满足光栅刻槽密度目标函数的要求。按照本方法可设计光刻干涉条纹的线密度变化规律。提高变栅距光栅的刻槽密度的精度，保证曝光对比度工艺参数的可控性，对提升变栅距光栅扫描光刻制作水平，提高光栅制作成功率具有重要意义。
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公开(公告)号：CN107144615A
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201710544416.3
申请日：2017-07-06
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N27/30
CPC classification number: G01N27/30
Abstract: 本发明涉及一种掺银三氧化二铁纳米材料的甲醛气体传感器及其制备方法，属于气体传感器技术领域。传感器的敏感材料为掺杂Ag的Fe2O3纳米材料，粒径为300～500nm。采用Fe2O3/Ag作为敏感材料，不但应用了其较高比表面积，还有效的利用Ag的低电阻率提高灵敏度。掺杂碳纳米管的Fe2O3/Ag纳米材料经过烧结后会形成多孔结构，增大了比表面积，有效的提高了响应时间。本发明采用的工艺简单、制得的器件体积小、灵敏度高，因而具有重要的应用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106996841A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201710387672.6
申请日：2017-05-27
Applicant: 吉林大学
IPC: G01L1/24
CPC classification number: G01L1/242
Abstract: 本发明涉及一种具有自洽功能的钻孔式光纤三维地应力观测装置，属于传感器领域。四分量探头A、B、C之间通过螺纹及平键连接，且探头A、B沿轴向旋转成90°。每个四分量探头分别承载四个应变传感单元，四分量探头A、B上的四个应变传感单元分别组成两组直角应变花；四分量探头C上的四个应变传感单元组成两组等角应变花。应变传感单元由光纤光栅封装到碳纤维复合材料的凹槽内制作而成。优点在于：具有自洽功能，可以直接监测地下岩层空间应力的大小与方向，具体可以应用于对大型边坡岩体稳定性监测、地震断裂带地层应力监测、山体滑坡监测等。大大减少人民生命伤亡与财产的损失。
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公开(公告)号：CN206772471U
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：CN201720604205.X
申请日：2017-05-27
Applicant: 吉林大学
IPC: G01L1/24
Abstract: 本实用新型涉及一种具有自洽功能的钻孔式光纤三维地应力观测装置，属于传感器领域。四分量探头A、B、C之间通过螺纹及平键连接，且探头A、B沿轴向旋转成90°。每个四分量探头分别承载四个应变传感单元，四分量探头A、B上的四个应变传感单元分别组成两组直角应变花；四分量探头C上的四个应变传感单元组成两组等角应变花。应变传感单元由光纤光栅封装到碳纤维复合材料的凹槽内制作而成。优点在于：具有自洽功能，可以直接监测地下岩层空间应力的大小与方向，具体可以应用于对大型边坡岩体稳定性监测、地震断裂带地层应力监测、山体滑坡监测等。大大减少人民生命伤亡与财产的损失。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN205403980U
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201620135724.1
申请日：2016-02-21
Applicant: 吉林大学
IPC: G01K1/14
Abstract: 本实用新型公开了一种新型传感器的安装结构，它包含温度传感器(1)及其安装座(2)；所述温度传感器(1)一侧的中部设置有定位块(3)，该定位块(3)的两端分别对称设置有定位板(4)，所述温度传感器(1)的导线(5)穿过定位块(3)；所述的安装座(2)包含安装板(21)，该安装板(21)的上顶面的一侧设置有卡槽(22)，所述安装板(21)上顶面的另一侧对称设置有两个定位台(23)。本实用新型结构简单，安装方便，安装时，将温度传感器斜插到卡槽内，然后利用重力的作用往下摁，当定位板卡扣在定位卡扣内，即可完成安装，一旦温度传感器发生故障时，维修起来非常的方便，拆卸更换起来也非常的方便。
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公开(公告)号：CN206321307U
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：CN201621241621.X
申请日：2016-11-21
Applicant: 吉林大学
IPC: G01F23/292
Abstract: 本实用新型涉及一种分布式光纤多探头液位传感系统，属于光纤传感领域。ASE宽带光源通过环形器与多路光开关连接，环形器将ASE宽带光源发出的激光导入到多路光开关；传输光缆的一端与多路光开关连接，另一端连接锥形光纤液位探头；多路光开关通过环形器与PD探测器连接，多路光开关将收集到的锥形光纤液位探头反射的光信号输出至PD探测器；多路光开关将ASE宽带激光按照时间间隔分别发射至多路的传输光缆中，并输出至锥形光纤液位探头上，同时采集到的光信号分时输出至PD探测器。优点在于：结构简单，安装方便，成本低廉。适合于大范围远距离布设，能在强电磁干扰、易燃易爆、雷击等场合应用，长期稳定性和可靠性好。
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公开(公告)号：CN206177414U
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201621241495.8
申请日：2016-11-21
Applicant: 吉林大学
IPC: G01F23/292
Abstract: 本实用新型涉及一种光纤液位传感器结构，属于传感器领域。X形耦合器设有输入臂、背散射臂、直通臂和耦合臂，所述输入臂与激光模块连接，所述背散射臂与光探测模块连接，直通臂和耦合臂分别与两个锥形光纤探头连接。所述的锥形光纤探头是采用熔拉法制作的锥形光纤探头，其光纤端部的尖顶磨平，并镀有反射膜；光纤的包层和纤芯的直径沿光纤轴向均逐渐变细，在整个锥区，包层和纤芯的直径之比保持恒定。优点在于：体积小、重量轻、可远程监控、抗干扰能力强，结构简单、安装方便，既可垂直也可倾斜铺设。有效防止探头离开液体时，由于有液滴附着在探头上，传感器不能立即响应，增大光纤液位传感器的环境适应性。实用性强。
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