公开(公告)号：CN214427469U

公开(公告)日：2021-10-19

申请号：CN202120604889.X

申请日：2021-03-25

Applicant: 厦门大学

Inventor： 洪文晶 ,  黄宝贵 ,  陈香萍 ,  肖麟麒 ,  江波 ,  钟家和 ,  王晨浩 ,  袁梓锋 ,  章志清

IPC: G01Q60/10 ,  G01Q60/16

Abstract: 本实用新型涉及一种带法拉第屏蔽的STM测量装置，包含：安装底座，所述安装底座在其上端面设置连通孔，所述安装底座设置有窗口；门体，轨道连接于所述安装底座，所述门体设置有遮挡部和开放部，移动所述门体可将所述遮挡部遮挡于所述窗口；电动缸，设置于所述安装底座的上端面，且所述电动缸的伸缩轴穿过所述连通孔延伸至所述安装底座的内部；探针，连接于所述伸缩轴并跟随所述伸缩轴运动；基底底座，锁紧设置于所述安装底座内对应所述探针的位置；测量回路，连接于所述探针和所述基底底座之间。