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公开(公告)号：CN103754818B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201410014636.1
申请日：2014-01-14
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开一种具有真空腔的微机电系统露点传感器。该发明包括光源、光电探测器、测控电路和传感器主体。传感器主体包括第一基片、膜片、第一绝缘层、温度传感器、加热电阻、第二绝缘层、反射镜面、第二基片和制冷器。第一基片的正面刻蚀形成膜片，第一绝缘层置于膜片的正面，温度传感器和加热电阻分别置于第一绝缘层的正面，第二绝缘层置于第一绝缘层的正面并能够掩埋温度传感器和加热电阻，反射镜面形成于第二绝缘层的正面，第二基片键合于第一基片的背面且两者之间形成真空腔，制冷器与第二基片的背面连接。本发明还公开一种用于制造该露点传感器的方法。本发明创造性增加了真空腔结构，避免反射镜面的不规则变形，提高露点仪的检测精度。
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公开(公告)号：CN103754818A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201410014636.1
申请日：2014-01-14
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开一种具有真空腔的微机电系统露点传感器。该发明包括光源、光电探测器、测控电路和传感器主体。传感器主体包括第一基片、膜片、第一绝缘层、温度传感器、加热电阻、第二绝缘层、反射镜面、第二基片和制冷器。第一基片的正面刻蚀形成膜片，第一绝缘层置于膜片的正面，温度传感器和加热电阻分别置于第一绝缘层的正面，第二绝缘层置于第一绝缘层的正面并能够掩埋温度传感器和加热电阻，反射镜面形成于第二绝缘层的正面，第二基片键合于第一基片的背面且两者之间形成真空腔，制冷器与第二基片的背面连接。本发明还公开一种用于制造该露点传感器的方法。本发明创造性增加了真空腔结构，避免反射镜面的不规则变形，提高露点仪的检测精度。
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公开(公告)号：CN103278660B
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201310194025.5
申请日：2013-05-22
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01P15/097 , B81B3/00
Abstract: 本发明涉及一种差分谐振式微加速度计及其驱动方法，属于微机械传感器的技术领域。加速度计机械结构层包括两个单元。每个单元都包括第一音叉结构，两个质量块系统，质量块系统包括质量块，两根垂直梁。两个质量块系统都有一根与第一音叉结构连接的垂直梁，两根垂直梁构成第二音叉结构，第一音叉结构在X轴方向的刚度小于第二音叉结构在X轴方向的刚度，增加了结构振动稳定性，降低了灵敏度对制造误差的依赖度，抑制对称性误差。驱动方法通过控制加载在驱动电极上的电压来调节两个单元工作在不同模态，取两个单元中相同运动方向的质量块系统谐振频率实现差频输出，避免了传统驱动方式难以兼顾测量响应时间和测量带宽的缺陷。
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公开(公告)号：CN103292799B
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310210325.8
申请日：2013-05-30
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01C19/5776 , G01C25/00
Abstract: 本发明公开了一种硅微机械结构振动幅度的电学测量方法，属于微机械结构位移测量的技术领域。所述测量方法利用动态信号分析仪得到以正弦交流调制电压频率为中心的单边带频谱，由相邻两个单边带电压幅值比得到振动幅度比，结合测量的检测平板电容的平板初始间距，进而确定待测硅微机械振动幅度。本发明操作方法简单，易于实现；能够在同频干扰下测得硅微机械结构的谐振幅度，不需要后续的高通滤波器、解调、低通滤波等环节，减少了硬件的开销；测量的结果不依赖于接口电路的电学参数及调制电压的幅度，提高了测量方法的可靠性。
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公开(公告)号：CN103292799A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310210325.8
申请日：2013-05-30
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01C19/5776 , G01C25/00
Abstract: 本发明公开了一种硅微机械结构振动幅度的电学测量方法，属于微机械结构位移测量的技术领域。所述测量方法利用动态信号分析仪得到以正弦交流调制电压频率为中心的单边带频谱，由相邻两个单边带电压幅值比得到振动幅度比，结合测量的检测平板电容的平板初始间距，进而确定待测硅微机械振动幅度。本发明操作方法简单，易于实现；能够在同频干扰下测得硅微机械结构的谐振幅度，不需要后续的高通滤波器、解调、低通滤波等环节，减少了硬件的开销；测量的结果不依赖于接口电路的电学参数及调制电压的幅度，提高了测量方法的可靠性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102879655B
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201210426733.2
申请日：2012-10-31
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01R29/12
Abstract: 本发明涉及一种振动式微机械电场传感器，一种振动式微机械电场传感器，包括基座、设置在基座上的敏感层和屏蔽层,所述屏蔽层包括活动结构、固定梳齿结构，其中活动结构包括一个中心设置有间隙的矩形质量块、设置在质量块四周的梳齿，与质量块四个端角相连接的支撑梁。本发明能利用平行板电容器加载静电来对屏蔽层中的活动结构的谐振频率进行调谐，通过振动速度信号的差分式反馈来对针对屏蔽层中的活动结构的振动阻尼进行调谐，实现振动式微机械电场传感器的常压封装，能实现大的灵敏度和提高输出信号的稳定性，解决了现存微机械电场传感器中的制造误差补偿和封装及输出信号稳定性等关键问题。
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公开(公告)号：CN208065163U
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201720262401.3
申请日：2017-03-17
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本实用新型涉及一种数字脉搏测量装置，包括脉搏信号检测的光电传感器、放大电路、低通滤波器、电压比较器、主控制器、显示模块、按键模块、无线发射模块、终端设备；所述光电传感器与放大电路的前端相连，所述低通滤波器的前端与放大电路的后端相连，所述电压比较器的前端与低通滤波器的后端相连，电压比较器的后端、显示模块、按键模块以及无线发射模块均与主控制器相连，所述终端设备与无线发射模块通讯相连。优点：本实用新型提供制作容易、准确性高、实用性强的新型数字脉搏测量装置，不仅测量精度高，而且成本低廉，携带方便，能将测量结果发送到相应移动设备上，可实现实时连续测量。
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公开(公告)号：CN207427108U
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201721625042.X
申请日：2017-11-29
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: H03K3/64
Abstract: 本实用新型公开了一种M序列信号发生器，包括时钟信号产生电路、移位控制单元、序列变化电路和电源电路，时钟信号产生电路用于产生方波信号，移位控制单元接收方波信号完成M序列信号的移位逻辑控制来产生M序列信号，序列变化电路对产生的M序列信号进行电平调节以实现电平对称，电源电路用于给时钟信号产生电路、移位控制单元和序列变化电路供电。本实用新型提供的一种M序列信号发生器，不需要软件编程下载、技术简单、成本低以及能够对M序列信号进行电平调节以实现电平对称。
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公开(公告)号：CN206363188U
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201720021516.3
申请日：2017-01-09
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G06F1/03
Abstract: 本实用新型公开了一种基于DDS的任意波形信号源，包括依次单向相连的控制芯片模块、FPGA芯片、数据转换模块、低通滤波器模块和电压偏置模块，所述控制芯片模块的输入端与矩阵键盘相连，所述控制芯片模块的两个输出端还分别连有波形显示模块和DAC扩展电路模块，所述DAC扩展电路模块的输出端分别与所述数据转换模块和电压偏置模块相连。本实用新型的一种基于DDS的任意波形信号源，可以发生任意波形信号，并且信号输出频率稳定度和精度高、响应快速，也具有成本低、功耗小和易操作的优点。
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公开(公告)号：CN206235591U
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201621361472.0
申请日：2016-12-13
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01N27/22
Abstract: 本实用新型涉及一种油品水含量的检测装置，包括电容型水含量检测传感器、C‑V转换电路、电压比较器、主控制器、接口按键模块和数字显示模块；电容型水含量检测传感器通过C‑V转换电路与主控制器、电压比较器相连；数字显示模块、电压比较器、接口按键模块分别与主控制器相连。本实用新型检测装置能够安全、有效地进行油品水含量检测，且结构简单，成本低，可应用于无法直接连线的油品水含量检测，实现可靠测量。
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