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公开(公告)号：CN103240665B
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201310088370.0
申请日：2013-02-01
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: B24B1/00 , B24B37/044 , C09G1/02
Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃衬底的制造方法。使用含有四方或立方氧化锆的抛光浆料将起始合成石英玻璃衬底的粗糙表面抛光至镜面光洁度。
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公开(公告)号：CN106141918A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201610317737.5
申请日：2016-05-13
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及基板的制备方法。本发明提出基板的制备方法、特别是合成石英玻璃的基板的制备方法，同时使基板表面免于致命性缺陷而没有采取任何大规模装置和精密抛光板，由此与用常规设施制备相比，进一步减少缺陷和改善收率。通过抛光制备基板的方法，包括如下步骤：将基板原料各自放入下抛光板上的载体中形成的加工孔中；使上抛光板接触所述基板原料的表面，所述基板原料的表面涂覆有冲击吸收液并且使所述下抛光板旋转；和使所述上抛光板和下抛光板旋转，所述基板原料的表面伴有抛光浆料。
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公开(公告)号：CN103159250A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201210553192.X
申请日：2012-12-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C01F17/00
CPC classification number: C09K3/1409 , C01F17/0043 , C09G1/02
Abstract: 本发明涉及一种用于回收氧化铈的方法。本发明特别涉及一种用于从主要由氧化铈组成的磨料废物回收氧化铈的方法，所述磨料废物源自玻璃衬底的抛光，所述方法包括以下步骤：（i）向磨料废物添加碱性物质的水溶液；（ii）向所得的溶液添加沉淀剂，从而形成主要由氧化铈组成的沉淀物，并且除去上清液；（iii）向所得的沉淀物添加酸性物质的溶液，从而使所述沉淀物为微酸性至中性；（iv）用有机溶剂洗涤该沉淀物；以及（v）干燥并且压碎沉淀物。该方法使将磨料废物再造成主要由氧化铈组成的纯磨料成为可能，可再使用该磨料来抛光与光掩模和中间掩模相关的半导体尖端技术的合成石英玻璃衬底。
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公开(公告)号：CN102516872A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110286406.7
申请日：2011-07-26
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: B24B1/00 , B24B37/044 , C03C19/00 , C09G1/02
Abstract: 一种包括胶原衍生物和胶体溶液的抛光浆料，其有效抛光合成石英玻璃基板。其防止具有可被高灵敏度缺陷探测仪检测到的尺寸的缺陷的形成。
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公开(公告)号：CN101804589A
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN201010173034.2
申请日：2010-01-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: B24B7/241 , B24B13/0018 , B24B41/053
Abstract: 本发明公开了一种加工半导体用人造石英玻璃基板的方法，其中使小型旋转式加工工具的抛光部件接触人造石英玻璃基板的表面，接触面积为1～500mm2，并且旋转的同时在基板表面上扫描移动，从而抛光基板表面。当利用这种方法制造人造石英玻璃，如IC等制造中重要的光刻用光掩模基板时，可以比较容易和廉价地得到具有极好平整度并且甚至能用于EUV光刻的基板。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107689411B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN201710653709.5
申请日：2017-08-03
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: H01L33/483 , C03C27/00 , C03C27/08 , C22C45/003 , H01L33/56 , C09D1/00
Abstract: 本发明为合成石英玻璃盖和光学器件封装体。提供合成石英玻璃盖，其包括合成石英玻璃与在窗构件的主表面的周围形成的粘结剂。此外，提供光学器件封装体，其包括具有开放上端的盒状容纳座，容纳在容纳座中的光学器件，用粘结剂结合至该容纳座上端的合成石英玻璃的窗构件。该粘结剂为由Te、Ag和选自由W、V、P、Ba和Zr中的至少一种元素组成的低熔点金属玻璃。
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公开(公告)号：CN114497329A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111330120.4
申请日：2021-11-11
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及接合和密封材料和用于光学元件封装的盖。接合和密封材料，其包括焊料粉末、涂覆有涂层材料的银纳米颗粒和溶剂作为必要成分，并且额外包括选自以下的至少一种成分：硒金属、氧化物膜抑制剂和氧化物膜去除剂。这种接合和密封材料可在温和的条件下容易形成当密封短波长光发射元件例如UV‑LED时所需类别的具有良好的气密密封性和耐UV性的金属性粘合层，并且可长时间稳定地使用。
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公开(公告)号：CN110752188A
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201910663690.1
申请日：2019-07-23
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃空腔件、合成石英玻璃空腔盖、光学装置封装体和制造方法。具体地，将合成石英玻璃空腔件(1)连接至其上安装有光学装置(7)的基材(6)，使得该装置可容纳在空腔件中。由与装置(7)相对的顶表面(2a)和侧表面(3a)构成的内表面限定空腔件(1)。顶表面(2a)是镜面表面并且侧表面(3a)是粗糙表面。
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公开(公告)号：CN108376673A
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201810093784.5
申请日：2018-01-31
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C27/046 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03C3/06 , C03C17/10 , C03C17/40 , C03C21/008 , C03C27/00 , C03C27/048 , C03C2217/256 , C03C2217/268 , C03C2217/27 , C03C2217/77 , C04B37/045 , C04B2235/5454 , C04B2237/125 , C04B2237/343 , C04B2237/366 , H01L23/291 , H01L21/56
Abstract: 本发明涉及合成石英玻璃盖前体、合成石英玻璃盖及其制备方法。通过以下方法制备用于光学器件封装的合成石英玻璃盖：配置包括合成石英玻璃基底(1)和金属膜或金属化合物膜(2)的合成石英玻璃盖前体，和在金属膜或金属化合物膜(2)上形成金属系粘结层(3)。该金属膜或金属化合物膜含有Ag、Bi和选自P、Sb、Sn和In中的至少一种元素。
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公开(公告)号：CN102436136B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201110218545.6
申请日：2011-05-24
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03C19/00 , C03C2201/42 , C03C2204/08 , G03F1/24 , G03F1/60 , G03F7/0002 , Y10T428/24355
Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃衬底及其制备方法。该衬底具有包括132mm2中央表面区域的6平方英寸的表面。132mm2的中央表面区域具有最多50nm的平整度。通过从148mm2中央表面区域减去132mm2中央表面区域得到的框架区域具有最多150nm的平整度。
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