一种硒化锌多晶纳米薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN1915803A

    公开(公告)日:2007-02-21

    申请号:CN200610124483.1

    申请日:2006-09-08

    Abstract: 本发明公开了一种硒化锌多晶纳米薄膜的化学浴制备方法。采用锌盐溶液作为锌离子源,自制Na2SeSO3溶液或配制硒脲或二甲基硒脲溶液提供Se2-源,采用单一水合阱或水合肼与氨水、三乙醇胺的一种或多种混合作络合剂形成化学浴前驱体溶液,以化学浴法制备ZnSe纳米光电薄膜材料。和其它II-VI族半导体相比,ZnSe的溶度积常数相对较高,溶液中阴阳离子浓度之积超过其离子积常数时很容易发生同相沉积而形成粉末状块材,因此工艺的控制相当重要。本发明在ZnSe半导体薄膜合成过程中废液对环境的污染很小,是一种“绿色”的制备方法,所制备的ZnSe多晶纳米薄膜具有结晶性好,表面均匀而有光泽,可见光范围内透射率高,光学特性好等特点。

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