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公开(公告)号：CN113959364B
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202111230974.5
申请日：2021-10-22
Applicant: 华中科技大学 , 中国人民解放军91550部队
Abstract: 本发明公开了一种三频相位展开方法及测量装置。所述三频相位展开方法，是将预先设计的六幅条纹图分别投影到待测物体上，分别获取对应的六个被调制条纹图的图像信号，根据所述图像信号进行相位求解和展开，其中所述六幅条纹图被分为高频、中频和低频三组，高频组包括三幅三步相移条纹图，中频组包括两幅两步相移条纹图，低频组包括一幅单频条纹图。本发明兼顾了测量精度和速度，和标准三频三步相移法相比减少了三幅所需投影条纹图，提高了测量速度，和标准双频三步相移法相比提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN113191963B
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202110362075.4
申请日：2021-04-02
Applicant: 华中科技大学 , 中国人民解放军91550部队
Abstract: 本发明公开了一种无需附加操作的投影仪残余畸变全场标定方法及装置。该方法包括对结构光系统进行标准标记平板的多姿态预标定，得到预标定数据；基于所述预标定数据，分别计算相机像素点在投影仪成像面上的实际对应点与模型对应点；计算所述实际对应点与模型对应点的差值，根据所述差值对投影仪的全场残余畸变进行拟合标定。本发明实现了对残余畸变的标定不再需要任何附加操作，仅通过分析系统预标定数据即可得到结果，使用方便、效率优良。
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公开(公告)号：CN111854638B
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202010718315.5
申请日：2020-07-23
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种跨尺度微纳结构三维测量装置及测量方法，其特征在于：包括原子力探针扫描显微镜组件、物镜转台、白光干涉系统、纳米级垂直微位移平台、激光干涉位移计量系统一、测控系统、激光干涉位移计量系统二、样件、二维压电陶瓷扫描平台、二维电动扫描平台以及激光干涉位移计量系统三；通过转动物镜转台，使测量装置在白光干涉测量模式和原子力探针扫描测量模式中切换。白光干涉测量模式主要用于微米尺度结构的大范围测量，原子力探针扫描测量模式对纳米尺度特征区域进行水平高分辨力测量，实现跨尺度微纳结构表面大范围与高分辨力测量，能够在一套系统中实现跨尺度(微米尺度、亚微米及以下尺度)结构的测量。
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公开(公告)号：CN111429467B
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN201910964454.3
申请日：2019-10-11
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提出了改进Lee‑Seo模型的水平集三维表面特征分割方法，该方法主要包括如下步骤：采集并处理获得目标图像信息，构建能量泛函数并获得水平集函数及演化方程，执行演化完成三维表面特征分割，按照本发明地改进水平集函数作为图像数据的映射不再需要保持为符号距离函数，避免了水平集函数反复初始化导致的计算繁琐；重新构建了凸性能量泛函，解决了传统模型能量泛函非凸性缺乏证明的问题，在求解极小值位置时可以运用隐式欧拉方法，去除了迭代步长限制，从而可以极大的加快收敛过程，同时能量泛函参数会随着分割区域的固定而逐渐趋近于某一定值的特点，通过预设参数，进一步简化了算法的求解过程，提高了运算速度。
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公开(公告)号：CN112577406A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202011588939.6
申请日：2020-12-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种多探针电容位移传感器和表面测量方法，属于精密位移和表面测量相关技术领域。装置包括多探针测头、计量单元和直线直驱电机，多探针测头采用阵列式铰链结构支承阵列式探针，每个探针连接片上的铰链结构的导电膜，与上方的固定板上的导电膜构成电容位移计量单元，结合固定板上的激光干涉计量单元，则可以获得探针的位移。直线直驱电机驱动整个多探针测头，水平位移机构带动被测件进行二维位移，可以实现表面形貌的大量程多探针扫描测量。本发明装置结构简单，操作简单，测量精度和效率高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110749280B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201910943439.0
申请日：2019-09-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种提取峰值位置索引坐标的方法、系统及计算机可读介质，其利用光学测量系统获取归一化的离散单峰信号，利用预设强度阈值T获得截取后的离散单峰信号，计算截取后的离散单峰信号的动态阈值并对归一化的离散单峰信号进行滤除得到新的归一化的截取单峰信号，从而实现对归一化离散的单峰信号的峰值位置索引坐标的快速准确定位，以提高光学测量系统的测量准确度。
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公开(公告)号：CN110749280A
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201910943439.0
申请日：2019-09-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种提取峰值位置索引坐标的方法、系统及计算机可读介质，其利用光学测量系统获取归一化的离散单峰信号，利用预设强度阈值T获得截取后的离散单峰信号，计算截取后的离散单峰信号的动态阈值并对归一化的离散单峰信号进行滤除得到新的归一化的截取单峰信号，从而实现对归一化离散的单峰信号的峰值位置索引坐标的快速准确定位，以提高光学测量系统的测量准确度。
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公开(公告)号：CN109612686B
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201811490138.9
申请日：2018-12-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种基于神经网络的色散共焦测量装置标定方法，其利用色散共焦测量装置测量压电陶瓷的测量位置并处理得到新的归一化光谱响应信号的光强序列；将所有的新的归一化光谱响应信号的光强序列构成光强集合及对应的测量位置构成测量位置集合并随机划分为训练集和测试集；将所有训练集的光强序列经输入至神经网络，经神经网络的权重系数矩阵运算后得到与光强信号对应的预测位置值；计算所有训练集的光强序列预测位置值与实际测量值的误差E，依据误差E调整权重系数矩阵中的各权重系数，并验证所有测试集的光强序列预测位置值满足预设的条件时，权重系数矩阵的各权重系数即为色散共焦测量装置的标定值，从而提高色散共焦测量装置的标定值的准确性。
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公开(公告)号：CN109186458B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201811140267.5
申请日：2018-09-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于色散共焦峰值提取的补偿拟合差分信号方法，其通过线性最小二乘法拟合归一化的离散光谱响应信号的差分信号得到初始峰值波长，进一步得到归一化的离散光谱响应信号初始峰值波长与理想峰值波长之间的误差并对其进行一阶导数变形，求解一阶导数变形的微分方程得到拟合的归一化的离散光谱响应信号初始峰值波长与理想峰值波长X之间的误差，进一步得到归一化的离散光谱响应信号的理想峰值波长的拟合值，从而实现利用归一化的离散光谱响应信号的理想峰值波长的拟合值进行色散共焦的快速测量，以确保色散共焦的快速测量的准确性。
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公开(公告)号：CN105242076B
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201510704968.7
申请日：2015-10-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01Q60/38
Abstract: 本发明公开了一种原子力探针位姿调整机构。包括探针座，调节机构和连接头。其中探针座用于原子力探针的安装固定；调节机构包括由下至上的第一调节部件、第二调节部件、第三调节部件以及第四调节部件，分别用于原子力探针的里外水平偏摆、左右水平和上下旋转、上下俯仰以及上下竖直位姿调节；连接头用于与显微物镜相连。本发明能够实现原子力探针姿态在五个自由度上的细微调节，各个调节动作相互独立，彼此不发生干涉，互不影响，提高了探针姿态的调节精度；且能够对调节后的位姿进行锁定，使其保持稳定。
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