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公开(公告)号：CN109490744B
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN201811529305.6
申请日：2018-12-14
IPC: G01R31/26
Abstract: 一种PN结器件杂质浓度/浓度梯度自动测量系统及方法，该系统包括：给进机构，用于自动传送PN结器件到样品测试台；固定片，用于固定PN结器件的两端并保持和PN结器件电极之间良好的电学接触；测量模块连接锁相放大器，锁相放大器连接计算机。测量模块通过采集回路标准电容的微弱分压信号，换算为PN结器件的结电容并可实时显示出PN结器件偏置电压‑结电容的关系曲线；对曲线可进行自动参数变换及拟合；并根据所拟合直线结果的相关系数大小来判断PN结的类型；由其类型对应的物理模型换算PN结器件的杂质浓度分布系数或浓度梯度系数。本发明可方便地进行大量PN结试样的杂质浓度/浓度梯度的自动检测，并对同一批次产品中的器件的类别差异进行统计。
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公开(公告)号：CN115037840A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202210469100.3
申请日：2022-04-29
Applicant: 北京航空航天大学
Abstract: 本发明提供一种扫描成像联用系统的数据同步方法、装置及扫描成像联用系统，所述方法包括：扫描波形和触发波形发生器用于生成第一波形、第二波形和第三波形；模拟信号输出通道用于分别基于所述第一波形和所述第二波形生成驱动成像设备扫描快轴方向的和扫描慢轴方向的模拟信号；数字信号输出通道用于基于所述第三波形生成用于触发计数器输出通道产生并输出有限脉冲序列的数字信号；所述计数器输出通道用于由所述数字信号触发产生并输出用于驱动外部同步触发设备的有限脉冲序列；所述多个数据采集通道用于由所述计数器输出通道内部时基信号触发来以相同的采样率采集成像设备形成的多种成像信号。
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公开(公告)号：CN107727886B
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN201711047170.5
申请日：2017-10-31
Applicant: 北京航空航天大学
IPC: G01Q60/24
Abstract: 本发明公开了一种倒置式高速电化学原子力显微镜，属于扫描探针显微技术领域。本发明将AFM探针设置在液体池内，针尖朝上，液体池底部设置透明玻璃窗，将激光器、反射棱镜和位置灵敏探测器设置在液体池的下方，将样品台固定在高速扫描器上，所述的高速扫描器固定在自动逼近装置上，三者均位于所述的液体池的上方；工作电极安装在样品台上，参比电极通过螺钉固定在电化学液体池的侧面，环形对电极安装在电化学液体池的底部。本发明采用倒置式液体池不易渗漏，容易更换样品；同时避免了在正置结构中由于液体池要固定在高速扫描器上，对高速扫描器动态性能造成的不利影响。
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公开(公告)号：CN107727886A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201711047170.5
申请日：2017-10-31
Applicant: 北京航空航天大学
IPC: G01Q60/24
CPC classification number: G01Q60/24
Abstract: 本发明公开了一种倒置式高速电化学原子力显微镜，属于扫描探针显微技术领域。本发明将AFM探针设置在液体池内，针尖朝上，液体池底部设置透明玻璃窗，将激光器、反射棱镜和位置灵敏探测器设置在液体池的下方，将样品台固定在高速扫描器上，所述的高速扫描器固定在自动逼近装置上，三者均位于所述的液体池的上方；工作电极安装在样品台上，参比电极通过螺钉固定在电化学液体池的侧面，环形对电极安装在电化学液体池的底部。本发明采用倒置式液体池不易渗漏，容易更换样品；同时避免了在正置结构中由于液体池要固定在高速扫描器上，对高速扫描器动态性能造成的不利影响。
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公开(公告)号：CN102565458A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201210033870.X
申请日：2012-02-15
Applicant: 北京航空航天大学
IPC: G01Q10/00
Abstract: 本发明公开了一种推挽式二维微移动装置，主要包括：设置在一个工作平面上的四个驱动器、五个箝制脚和五个磁性柱，每个箝制脚内嵌入一个磁性柱，四个驱动器的一端粘接一个箝制脚，驱动器的另一端分别粘接在同一箝制脚的四个面上，形成“+”字形结构。该放置在工作平面上，并确保每个箝制脚与工作平面接触，通过磁性柱吸附固定。所有驱动器的负极接地，正极分别与四个驱动电压的输出端连接，按照特定方式和时序给驱动器施加驱动电压，就可实现整个装置在工作平面上的二维移动，并具有亚微米量级步长和毫米量级的移动范围。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101602183B
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN200910087975.1
申请日：2009-06-26
Applicant: 北京航空航天大学
Abstract: 本发明公开了一种制备近场光学探针的装置及其方法，所述装置包括减振橡胶、支撑底板、三相无刷电机、调节架和光学显微镜，所述的支撑底板水平设置的减震橡胶上，支撑底板上固定三相无刷电机、调节架和光学显微镜；所述方法首先将石英光纤固定在调节架上，并以设定的角度固定在研磨材料的上方，当研磨材料旋转时，使光纤接近研磨材料并产生摩擦，然后将光纤沿其轴向旋转不同的角度，反复与研磨片接近并摩擦；即可磨制出三棱锥、四棱锥及圆锥等不同形状的近场光学探针。该方法克服了制作光纤探针锥角的限制，可以直接设定研磨锥角，制作方式灵活；制作过程安全、环保；制备时间短，参数容易精确控制，重复性好；整个装置的操作简便，制备成本低廉。
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公开(公告)号：CN111077347B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN201911352865.3
申请日：2019-12-25
Applicant: 北京航空航天大学
IPC: G01Q60/38
Abstract: 本发明涉及一种原子力显微术探针夹持装置，其包括探针底座，所述探针底座用于装设探针基片，所述探针底座具有第一斜面和第二斜面，分别与水平面呈第一夹角和第二夹角，所述第一夹角小于第二夹角，其中在所述第一斜面上设有用于装载探针基片的探针基片定位槽；所述探针基片定位槽的两侧，设有夹持工具定位槽；在所述探针基片装入所述探针基片定位槽后，所述夹持工具定位槽位于所述探针基片中部的两侧。
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公开(公告)号：CN111123861A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911264634.7
申请日：2019-12-11
IPC: G05B19/418 , G01D21/02
Abstract: 本发明涉及实验检测装备领域，一种适用于大型多场耦合试验装备的分布式数据采集系统及方法，其组成包括主控系统和多种不同功能的传感器子模块，各传感器子模块硬件上通过网关模块与主控系统进行连接。按照各子模块的上位机软件开发语言类型、是否开放源代码以及子模块传感器读取及控制系统是否支持程控仪器命令标准为条件，将不同功能的传感器子模块划归为4种类型；针对每类传感器子模块的特点在其中增设与之匹配的数据读取及控制接口，并在主控系统的软件中增设对应的数据通信接口以实现数据交换。在装备系统研发、变更/增减更多不同功能的传感器子模块时具有优势，也便于统一多传感器数据的传输、处理和存储的数据格式。
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公开(公告)号：CN111077347A
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201911352865.3
申请日：2019-12-25
Applicant: 北京航空航天大学
IPC: G01Q60/38
Abstract: 本发明涉及一种原子力显微术探针夹持装置，其包括探针底座，所述探针底座用于装设探针基片，所述探针底座具有第一斜面和第二斜面，分别与水平面呈第一夹角和第二夹角，所述第一夹角小于第二夹角，其中在所述第一斜面上设有用于装载探针基片的探针基片定位槽；所述探针基片定位槽的两侧，设有夹持工具定位槽；在所述探针基片装入所述探针基片定位槽后，所述夹持工具定位槽位于所述探针基片中部的两侧。
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公开(公告)号：CN101221116B
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN200710304237.9
申请日：2007-12-26
Applicant: 北京航空航天大学
IPC: G01N13/10
Abstract: 本发明涉及一种基于压电陶瓷管的平板式三维定位/扫描装置，其结构组成主要包括：1个矩形固定架、8个压电陶瓷管、16个绝缘片、8个弹性片、四个固定座以及1个样品台。每个压电陶瓷管的两端都粘接一个绝缘片，一端的绝缘片连同压电陶瓷管固定在矩形固定架的一个固定座上，另外一端的绝缘片粘接弹性片一端，位于中心位置的样品台固定到8个弹性片的另一端，形成柔性支撑结构。将8个压电陶瓷管外壁(或内壁)的4个电极按特定方式组合连接成三对电极，而其内壁(或外壁)的电极接地；三对电极分别与三对驱动电压连接，可实现三维定位和扫描，并具有微米量级的扫描范围和纳米级分辨率。
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