公开(公告)号：CN118275508A

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202410193825.3

申请日：2024-02-21

Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司 ,  厦门大学

Inventor： 温立国 ,  朱彬 ,  李小娟 ,  吴德志 ,  沈红伟 ,  靳嘉桢

IPC: G01N27/22

Abstract: 本申请公开一种湿度传感器和湿度传感器的制备方法。湿度传感器包括晶圆及湿敏膜。晶圆包括基底和设置在基底上的电极。湿敏膜位于电极的表面，湿敏膜包括第一湿敏膜和第二湿敏膜，第一湿敏膜由未完全亚胺化的聚酰亚胺制成，第二湿敏膜由氟化聚酰亚胺制成，第二湿敏膜位于电极与第一湿敏膜之间。一方面使得在低湿度的情况下，可利用第一湿敏膜实现对水分敏感，实现低湿度感知。另一方面利用第二湿敏膜中的含氟官能团来提高第二湿敏膜的高湿稳定性和降低第二湿敏膜的迟滞性。如此，基于第一湿敏膜和第二湿敏膜的湿度传感器可在全湿度范围内完成检测，即实现宽量程，且在全湿度范围内可实现低迟滞性和高湿稳定性，从而减少湿度传感器的使用限制。

公开(公告)号：CN217064015U

公开(公告)日：2022-07-26

申请号：CN202220131826.1

申请日：2022-01-18

Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司

Inventor： 马磊 ,  孙婉丽 ,  李小娟 ,  刘羽 ,  王玉铭 ,  张小军 ,  王通 ,  梁磊

IPC: H04W4/38 ,  H04W52/02 ,  H04W64/00

Abstract: 本实用新型公开了一种室内定位标签及定位系统。室内定位标签包括本体、设置在本体中的气压传感器、设置在本体中的UWB定位模块和设置在本体中的控制芯片，气压传感器通过感知外界环境变化以输出气压变化数据，UWB定位模块用于对被测对象进行定位，控制芯片分别与气压传感器和UWB定位模块相连，控制芯片用于根据气压变化数据确定被测对象发生移动；以及在被测对象发生移动时将室内定位标签从休眠状态唤醒，以便UWB定位模块输出被测对象的定位数据。根据本实用新型实施例的室内定位标签及定位系统，降低了室内定位标签的平均功耗，延长了室内定位标签的使用时长，有利于改善用户的使用体验。