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公开(公告)号:CN106370375B
公开(公告)日:2019-11-29
申请号:CN201510427254.6
申请日:2015-07-21
Applicant: 北京大学
IPC: G01M7/08
Abstract: 本发明公开了一种新型热驱在线测试微结构冲击强度试验机及检测方法。该新型热驱片上试验机实现了即时的微结构冲击强度测试,利用热驱执行器实现自加载和卸载,排除人为偶然因素,极大地提高了测试准确度,同时利用热驱执行器和V型放大杠杆可以获得传统方法难以获得的大冲击和大冲击脉宽。同时基于该新型试验机提出的测试方法通过同次光刻同次刻蚀释放保证片上试验机的被测样品和实际工作的功能器件具有一致的冲击强度,排除了工艺误差带来的干扰。该方法针对不同尺寸的测试样品,通过调整试验机中冲击质量块以及柔性长梁尺寸保证试验机能够产生高强度的冲击载荷。该方法在获取冲击断裂加速度时,通过记录实际断裂加载挠度,利用商业ansys软件建立力学模型,随后将容易记录的加载位移代入力学模型来获取难以测量的冲击加速度和产生的应力峰值。
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公开(公告)号:CN106206161A
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201610495889.4
申请日:2016-06-29
Applicant: 北京大学
IPC: H01H50/00
CPC classification number: H01H50/005
Abstract: 本发明提供一种基于洛伦兹力的新型离面MEMS开关,包括:一衬底;一对称吸合板,通过依次相连的一矩阵驱动梁和一单悬臂梁,与一固定于所述衬底上的固定锚点连接,该矩阵驱动梁处于一磁场施加区域;一金属对称吸合板,固定于所述衬底上,位于所述对称吸合板的下方;所述衬底为玻璃片;所述对称吸合板上设有一金属电极;所述金属电极通过压焊金属丝引出,该压焊金属丝的数量根据驱动电流大小而定;所述固定锚点上设有一金属电极;所述矩阵驱动梁由多个驱动梁组成;所述固定锚点与所述衬底键合连接;采用SOG体硅工艺制作所述新型离面MEMS开关;所述单悬臂梁、矩阵驱动梁和对称吸合板为低阻硅。
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公开(公告)号:CN115721712B
公开(公告)日:2024-11-26
申请号:CN202110992448.6
申请日:2021-08-27
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种RGD环肽偶联的两亲性硅酞菁光敏剂及其制备方法与用途。本发明在轴向对羟基苯烷酸修饰的硅酞菁的一端偶联RGD环肽,得到的两亲性硅酞菁光敏剂可以靶向整合素高表达的肿瘤细胞系,与非靶向的硅酞菁光敏剂相比,其细胞光毒性更强。而且,该光敏剂的合成路线简单,水溶性好,在水中不聚集,对高表达整合素的肿瘤细胞系有良好的光动力治疗效果,在肿瘤的光动力治疗中显示出良好的应用前景。
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公开(公告)号:CN115721712A
公开(公告)日:2023-03-03
申请号:CN202110992448.6
申请日:2021-08-27
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种RGD环肽偶联的两亲性硅酞菁光敏剂及其制备方法与用途。本发明在轴向对羟基苯烷酸修饰的硅酞菁的一端偶联RGD环肽,得到的两亲性硅酞菁光敏剂可以靶向整合素高表达的肿瘤细胞系,与非靶向的硅酞菁光敏剂相比,其细胞光毒性更强。而且,该光敏剂的合成路线简单,水溶性好,在水中不聚集,对高表达整合素的肿瘤细胞系有良好的光动力治疗效果,在肿瘤的光动力治疗中显示出良好的应用前景。
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公开(公告)号:CN108359955B
公开(公告)日:2020-07-10
申请号:CN201810064123.X
申请日:2018-01-23
Abstract: 本发明涉及一种提高纳米多孔金属表面增强拉曼散射性能的方法,属于纳米材料领域。所述方法包括:首先以非晶合金薄带为前驱体,通过化学脱合金法制备出三维双连续的纳米多孔金属;然后采用高能金属离子辐照源对纳米多孔金属进行合适剂量的离子辐照。辐照过后的纳米多孔金属表面变粗糙,韧带变粗,孔隙变小,从而能提供更多的活性位点,可将纳米多孔金属的表面增强拉曼散射的增强因子提高2~10倍。本发明有望在化工、环境、生物医药和传感器等领域具有良好应用前景。
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公开(公告)号:CN106370330B
公开(公告)日:2019-11-19
申请号:CN201510427298.9
申请日:2015-07-21
Applicant: 北京大学
IPC: G01L5/00
Abstract: 本发明涉及一种基于片上冲击强度检测试验机利用电流变化检测微结构冲击碰撞应力波脉宽和峰值方法。该方法包括:1)选择标准SOG体硅工艺和标准压阻工艺流程制作片上冲击强度检测试验机、测试样品、测试样品压阻区域和功能器件;2)将电源和电流测试仪器与片上冲击强度检测试验机的可动部件和被测试样品串联形成测试电路;3)利用片上冲击强度检测试验机进行冲击试验,记录每次冲击试验中产生的电流脉冲图形;4)测量测试样品冲击破坏前一加载情况下电流脉冲图形的峰值和脉冲宽度,其脉冲宽度则为应力波作用脉宽,同时利用压阻公式,通过电流脉冲峰值计算应力波峰值大小。本发明能够方便、准确地计算出应力波脉宽和峰值。
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公开(公告)号:CN105716750B
公开(公告)日:2019-03-22
申请号:CN201610037420.6
申请日:2016-01-20
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法。本发明首次提出具有回旋镖结构的硅应变膜,压敏电阻排布于回旋镖结构的应力集中处,提高了压阻式压力传感器的灵敏度和线性度;选择LPCVD的SiO2/Si3N4作为KOH腐蚀工艺的掩膜,提高了KOH背腔腐蚀工艺中掩膜对K+的阻挡特性从而保证传感器的高可靠性;采用了硅玻璃阳极键合工艺,其中的玻璃起到了应力缓冲的作用,提高了传感器在后续封装和测试中的稳定性。本发明的MEMS压阻式压力传感器同时具有较高的灵敏度和线性度,其制备方法兼容于通用的MEMS加工技术,产品可靠性以及成品率较高。
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公开(公告)号:CN106197933B
公开(公告)日:2018-06-19
申请号:CN201610565292.2
申请日:2016-07-18
Applicant: 北京大学
IPC: G01M7/08
Abstract: 本发明提供一种热驱冲击试验机,包括:一热驱加载机构,包括两个加载热驱执行器,通过一加载放大杠杆连接,该加载放大杠杆的中点处连接一加载锯齿扣,该加载锯齿扣含有多个一类锯齿;该中点处还通过一单梁连接一冲击质量块和一负载储能弹簧;一热驱卸载机构,包括两个释放热驱执行器,通过一释放放大杠杆连接,该释放放大杠杆的中点处连接一释放锯齿扣,该释放锯齿扣含有一二类锯齿;一锯齿锁,包括两个互相平行的横梁,该两个横梁的一端设有一对三类锯齿,该三类锯齿与所述一类锯齿抵近并配合;另一端设有一对四类锯齿,该四类锯齿与所述二类锯齿抵近并配合。本发明另提供一种在线检测系统。本发明还提供一种在线检测方法。
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公开(公告)号:CN106370375A
公开(公告)日:2017-02-01
申请号:CN201510427254.6
申请日:2015-07-21
Applicant: 北京大学
IPC: G01M7/08
Abstract: 本发明公开了一种新型热驱在线测试微结构冲击强度试验机及检测方法。该新型热驱片上试验机实现了即时的微结构冲击强度测试,利用热驱执行器实现自加载和卸载,排除人为偶然因素,极大地提高了测试准确度,同时利用热驱执行器和V型放大杠杆可以获得传统方法难以获得的大冲击和大冲击脉宽。同时基于该新型试验机提出的测试方法通过同次光刻同次刻蚀释放保证片上试验机的被测样品和实际工作的功能器件具有一致的冲击强度,排除了工艺误差带来的干扰。该方法针对不同尺寸的测试样品,通过调整试验机中冲击质量块以及柔性长梁尺寸保证试验机能够产生高强度的冲击载荷。该方法在获取冲击断裂加速度时,通过记录实际断裂加载挠度,利用商业ansys软件建立力学模型,随后将容易记录的加载位移代入力学模型来获取难以测量的冲击加速度和产生的应力峰值。
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