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公开(公告)号：CN101289000A
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200810088457.7
申请日：2008-03-31
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
Abstract: 本发明的目的在于提供一种干净且成本低廉的防护薄膜组件收纳容器，其在真空成形后以适当的加工方法对外周围进行加工，使端面没有毛边等瑕疵。为达到上述目的，先将树脂片材真空成形，再切削除去片材周围的剩余部分，制得防护薄膜组件收纳容器构件，接着，对该剩余部分除去后的表面部分实施有机溶剂涂布等的溶解处理。便能轻易溶解除去切削加工后表面所生的毛边，使表面平滑，而以成本低廉的方式获得端面清洁的防护薄膜组件收纳容器。
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公开(公告)号：CN100389885C
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200510089495.0
申请日：2005-08-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: B05C5/00
CPC classification number: G03F1/62 , B05C5/0254 , B05D1/265 , Y10T428/3154 , Y10T428/31971
Abstract: 本发明的目的为确立模具式涂布器的模具的维修管理方式，并以低成本得到含极少异物的大型防护胶膜组件。为达成前述目的，本发明提供一种模具式涂布器的涂布方法，其特征为预先令模具前端浸泡于或接触在容器等所储存的涂布液体；使用时借着向上方缓缓的升高的方式，利用涂布液体的表面张力，在模具前端形成无液滴的状态后，向基板上排出涂布液体而进行涂布。于不进行涂布时，优选的情况是：令模具时常浸泡于或接触涂布液体，同时并使通过过滤器的涂布液体由模具前端连续或间歇的排出，且对液中的模具进行超声波清洁。
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公开(公告)号：CN111308855B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN201911192851.X
申请日：2019-11-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: G03F1/64
Abstract: 本发明涉及防尘薄膜框架及防尘薄膜组件。本发明提供一种防尘薄膜框架、及使用该防尘薄膜框架而构成的防尘薄膜组件；该防尘薄膜框架，可减少因防尘薄膜的张力所造成的防尘薄膜框架的往内侧的挠曲，抑制防尘薄膜组件的曝光区域的减少，且使皱褶不易进入至防尘薄膜框架的边中央附近的防尘薄膜。本发明为矩形框状的防尘薄膜框架10，其特征在于：至少一边的长度超过500mm；于至少一对相对向的边中的各自的边，构成为边的中央的防尘薄膜框架10的剖面积，较边的端部的防尘薄膜框架的剖面积更大。本发明的防尘薄膜组件的特征在于，其是使用本发明的防尘薄膜框架而构成的。
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公开(公告)号：CN105739234B
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201510958619.8
申请日：2015-12-18
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
Abstract: 提供一种给予贴附后的光掩模的形状的影响极小，可大幅度抑制光掩模的变形的防尘薄膜组件。本发明为，由长边和短边形成的矩形的防尘薄膜组件框架11构成的防尘薄膜组件10，在其防尘薄膜组件框架11上掩模粘着层12至少在2处上形成的同时，其掩模粘着层12之间的领域中无间隙地形成非粘着性的树脂形成的弹性体层13。然后，本发明的掩模粘着层12在包括角部的防尘薄膜组件框架11上的部位形成为优选，也可进在防尘薄膜组件框架的直线部形成。再者，该掩模粘着层，其沿着防尘薄膜组件框架内侧的长度的总和为防尘薄膜组件框架11的内周长的10％至70％的范围为优选。
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公开(公告)号：CN104570590B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201410562748.0
申请日：2014-10-21
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: G03F1/62
Abstract: 本发明的目的，是提供一种利用减小了宽度的框架来确保更大的曝光面积，并且在防尘薄膜组件的制作、运输过程中不发生框架的变形及起皱问题，从而能够以所期望的尺寸精度将防尘薄膜粘贴于光掩模上的防尘薄膜组件。本发明的防尘薄膜组件的特征在于，其为至少一对边长是大于500mm的矩形的防尘薄膜组件，在至少一对相对边的以边长的40～80％的边中心为中心的区域，该框架的宽度通过使框架的内侧壁凹陷而变细，并且该变细的区域的框架宽度为3mm以上6mm以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105739234A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201510958619.8
申请日：2015-12-18
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
Abstract: 提供一种给予贴附后的光掩模的形状的影响极小，可大幅度抑制光掩模的变形的防尘薄膜组件。本发明为，由长边和短边形成的矩形的防尘薄膜组件框架11构成的防尘薄膜组件10，在其防尘薄膜组件框架11上掩模粘着层12至少在2处上形成的同时，其掩模粘着层12之间的领域中无间隙地形成非粘着性的树脂形成的弹性体层13。然后，本发明的掩模粘着层12在包括角部的防尘薄膜组件框架11上的部位形成为优选，也可进在防尘薄膜组件框架的直线部形成。再者，该掩模粘着层，其沿着防尘薄膜组件框架内侧的长度的总和为防尘薄膜组件框架11的内周长的10％至70％的范围为优选。
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公开(公告)号：CN103257522B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201310049914.2
申请日：2013-02-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
Abstract: 一种防尘薄膜组件的制备方法，不仅对制造者名以及型式。制造号等，对各防尘薄膜组件进行识别的个体信息也进行表示，在对该个体信息进行简便确认的同时，清洁度高且可以防止发生灰尘以及异物附着。防尘薄膜组件的制造方法为，将防尘薄膜(3)贴附于防尘薄膜组件框架(2)的表面上，用波长500-11000nm的激光(25)进行照射而进行个体信息(5)的加工时，对所述激光(25)的照射部位进行吸引排气。
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公开(公告)号：CN105035466A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510178002.4
申请日：2015-04-15
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
Abstract: 提供一种收纳至少一条边长为500mm以上的防尘薄膜组件的低成本，轻量且高刚性的防尘薄膜组件收纳容器。本发明中，防尘薄膜组件收纳容器，包括，载置至少一条边长为500mm以上的防尘薄膜组件的容器本体以及与所述容器本体在周缘部嵌合固定的盖体，所述防尘薄膜组件收纳容器用树脂制片材成型，其特征在于，所述容器本体，从外侧来看，在具有凹形状的肋部的同时，在所述该肋部的外侧接续有对肋部进行加强的加强件。所述加强件，优选其形状为平板状，或具有大略C字型或大略L字型的截面形状。平板状的场合，优选以覆盖肋部的凹部的方式接续，在为具有大略C字型或略L字型的截面形状的场合，优选加强件全部或其一部分在肋部中嵌合而接续。
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公开(公告)号：CN102169847B
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201110035699.1
申请日：2011-02-10
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: H01L21/673 , G03F1/66
Abstract: 本发明的目的在于提供一种防尘薄膜组件收纳容器，其即使在将把手、防尘薄膜组件固定部件、补强部件等任意一个所构成的功能性零件安装于收纳容器时，也能保持容器内部洁净。本发明的防尘薄膜组件收纳容器包括：防尘薄膜组件收纳容器本体(20)，用于装载防尘薄膜组件；及盖体，覆盖于防尘薄膜组件，且与防尘薄膜组件收纳容器本体(20)在边缘部相嵌合卡定。该防尘薄膜组件收纳容器特征为：通过螺纹联接机构将由把手、防尘薄膜组件固定部件、补强部件所构成的功能性零件安装于树脂制的容器本体(20)或盖体，且该螺纹联接机构的外螺纹及内螺纹的表面不露出于该容器本体(20)或盖体的内侧。
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公开(公告)号：CN102053482B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201010225329.X
申请日：2010-07-12
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: G03F1/64 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供一种防尘薄膜组件剥离用夹具及剥离方法，该防尘薄膜组件剥离用夹具针对光罩具备固定构件，针对防尘薄膜组件具备粘接层，固定光罩与防尘薄膜组件相互之间的位置关系，在固定状态下将遮罩粘接层拉出并除去。本发明所述的简便的夹具以及剥离方法，能够以简易且安全的方式剥离贴附于光罩上的防尘薄膜组件。
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