公开(公告)号：CN119673852A

公开(公告)日：2025-03-21

申请号：CN202411303238.1

申请日：2024-09-19

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 森国雄一朗 ,  神谷重雄 ,  中岛和敬 ,  渡边光 ,  小川大辅

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明涉及基板保持装置、基板处理装置、分离方法和物品制造方法。该基板保持装置包括构造成保持基板的保持器和构造成在基板和保持器之间供应气体的气体供应器，其中，在将基板与保持基板的保持器分离时，气体供应器基于关于基板和保持器之间的附着力的信息供应气体。

公开(公告)号：CN102152636B

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：CN201010543911.0

申请日：2010-11-09

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 宫越俊守 ,  鹿目祐治 ,  广泽进 ,  室健太郎 ,  狩野丰 ,  渡边光 ,  堀场崇嗣

IPC: B41J2/165

Abstract: 本发明公开了一种记录设备和记录方法。将第一加湿气体从第一供应端口供应至被传送的片材，由此增加所述片材的水分含量。同时，将第二加湿气体从第二供应端口供应至喷墨记录头的喷嘴暴露处的空间，由此增加所述空间的环境湿度，其中所述第二供应端口设置在比所述第一供应端口更加靠近所述喷墨记录头的位置。使所述片材的水分含量已经增加的部分进入环境湿度已经增加的所述空间，并且由所述喷墨记录头执行记录。

公开(公告)号：CN102431296B

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：CN201110282603.1

申请日：2011-09-22

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 鹿目祐治 ,  堀场崇嗣 ,  渡边光 ,  津田英一郎

IPC: B41J2/01 ,  B41J2/165

CPC classification number: B41J2/16552 ,  B41J2/16579 ,  B41J2/16585 ,  B41J2/1714 ,  B41J3/543 ,  B41J25/3088 ,  B41J29/377

Abstract: 本发明公开了一种记录设备，其包括：具有墨喷嘴的记录头，该记录头构造成在沿一方向传送的片材上记录图像；读取单元，其构造成在读取位置读取通过所述记录头记录在所述片材上的图像；供给单元，其构造成供给气体以沿着所述方向流过所述墨喷嘴暴露的空间；和包括入口的排放单元，所述入口布置在所述记录位置与所述读取位置之间的位置附近，流过所述空间的气体的至少一部分被从所述入口抽吸。