公开(公告)号：CN103811508B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201310557942.5

申请日：2013-11-12

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 曾田岳彦

IPC: H01L27/146

CPC classification number: H01L27/14629 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14623 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14636 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14685 ,  H01L31/18

Abstract: 一种固态图像传感器、制造固态图像传感器的方法及相机。该固态图像传感器包括：具有第一面和第二面的半导体层以及被布置在第一面那一侧的布线结构，其中，光电转换器被布置在半导体层中并且光入射在第二面上。布线结构包括：反射部分，具有反射区域并且被布置用于光电转换器中的至少一些；吸收部分，被布置在反射区域周围；绝缘体部分，被布置为围绕吸收部分；以及层间绝缘膜，被布置在第一面与反射部分、光吸收部分和绝缘体部分的群组之间，以及光吸收部分的反射率小于反射区域的反射率，光吸收部分的光透射率小于绝缘体部分的光透射率。

公开(公告)号：CN103811508A

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201310557942.5

申请日：2013-11-12

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 曾田岳彦

IPC: H01L27/146

CPC classification number: H01L27/14629 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14623 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14636 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14685 ,  H01L31/18

Abstract: 一种固态图像传感器、制造固态图像传感器的方法及相机。该固态图像传感器包括：具有第一面和第二面的半导体层以及被布置在第一面那一侧的布线结构，其中，光电转换器被布置在半导体层中并且光入射在第二面上。布线结构包括：反射部分，具有反射区域并且被布置用于光电转换器中的至少一些；吸收部分，被布置在反射区域周围；绝缘体部分，被布置为围绕吸收部分；以及层间绝缘膜，被布置在第一面与反射部分、光吸收部分和绝缘体部分的群组之间，以及光吸收部分的反射率小于反射区域的反射率，光吸收部分的光透射率小于绝缘体部分的光透射率。

公开(公告)号：CN101638769A

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：CN200910165014.8

申请日：2009-07-28

Applicant: 佳能株式会社 ,  株式会社日立显示器

Inventor： 曾田岳彦 ,  荣田正孝 ,  宫田一史

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/12 ,  H01L51/56

CPC classification number: C23C14/042 ,  C03C17/001 ,  C03C2218/15 ,  C23C14/12 ,  Y10T156/10

Abstract: 提供一种成膜装置和使用该成膜装置的成膜方法，它们能够形成具有良好尺寸精度以及具有基板与掩模之间在将基板压向掩模时于平面方向上的减小的不对准的像素图案。该成膜装置包括使基板和掩模相互对准的对准机构以及用设置于挤压体的一端的接触部件将基板压向掩模的挤压机构，其中该挤压体被设置于真空室中。在通过对准机构使基板与掩模之间对准之后，使挤压体的接触部件和在与掩模相对的一侧上的基板的表面达到接触以压基板。