公开(公告)号：CN114894224A

公开(公告)日：2022-08-12

申请号：CN202210815098.0

申请日：2022-07-12

Applicant: 之江实验室 ,  浙江大学

Inventor： 匡翠方 ,  魏震 ,  张凌民 ,  徐良 ,  马程鹏 ,  丁晨良 ,  刘旭 ,  孙秋媛

IPC: G01D5/26 ,  G01B11/24 ,  G02B21/00

Abstract: 本发明公开了一种灵敏度可调长工作距离差分共焦系统，包括激光器、准直镜、半波片、偏振分束器、λ/4波片、扩束镜/缩束镜、物镜、共焦透镜、分束器、小孔、光强探测器。通过调节激光出射直径改变系统灵敏度和探测范围，解决了差分共焦灵敏度高但探测范围小的问题。从而可先通过低分辨大探测范围模式进行初步测量或对焦，再通过高分辨小探测范围模式进行测量或对焦，最后实现大探测范围和高灵敏度的测量或对焦。另外，当物镜离共焦系统较远时，长焦距差分共焦系统的焦点和物镜焦点可以构成4f关系的问题，对于显微镜和激光直写设备有重要应用价值。本发明可广泛应用于激光直写系统、显微镜、测量系统。

公开(公告)号：CN114326322A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202111528094.6

申请日：2021-12-14

Applicant: 之江实验室 ,  浙江大学

Inventor： 匡翠方 ,  魏震 ,  杨顺华 ,  蒋登斌 ,  丁晨良 ,  刘旭 ,  徐良 ,  朱大钊 ,  张凌民

IPC: G03F7/20 ,  G02B27/10 ,  G02B3/00

Abstract: 本发明公开了一种基于微透镜阵列和DMD的高通量超分辨激光直写系统。该系统使用一片包括m×m个镜元的微透镜阵列产生m×m束并行光束，结合紫外飞秒激光器、四光束分束器、DMD、合束器、平板光束位移元件、透镜、物镜搭建而成的光路在物镜焦平面上形成2m×2m个焦点点阵分布，将基于微透镜阵列和DMD的激光直写通量提高到原来的4倍，大幅提高直写速度，且每个焦点可由DMD独立调节光强，从而结合直写算法实现任意图形的并行超分辨激光直写。本发明可应用于微透镜阵列、衍射光学元件、光刻掩模板等的快速加工制造。