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公开(公告)号：CN101510490A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200910130702.0
申请日：2009-02-15
Applicant: 中外炉工业株式会社
Inventor： 惠上寿雄
IPC: H01J9/385
Abstract: 本发明涉及排气集管和真空排气处理装置。一种排气集管(1)，其具有：可接受尾管(4)的尾管插入室(5)，在上述尾管插入室(5)的内侧全周连续露出并利用内部压力的上升封堵上述尾管插入室(5)和上述尾管(4)之间的间隙的膨胀封闭环(7)，与上述膨胀密封环(7)连通并包围上述尾管插入室(5)的封套(8)，用于排出上述尾管插入室(5)内部的气体的真空排气流路(11)，在上述封套(8)中供给冷却水的冷却水供给流路(12)，以及从上述封套(8)排出上述冷却水的冷却水排出流路(13)。本发明可提供需要连接的柔性管的数量少的排气集管。
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