公开(公告)号：CN109561528B

公开(公告)日：2021-08-10

申请号：CN201811526042.3

申请日：2018-12-13

Applicant: 中国计量科学研究院

Inventor： 王雪深 ,  蒋志远 ,  钟青 ,  林平卫 ,  李劲劲

IPC: H05B3/20 ,  H05B3/10 ,  H05B1/02

Abstract: 本申请提供一种原子气室加热芯片，第一电极引入电流，经过第一加热层后，通过第一通孔进入第二加热层，进而从第二电极流出，形成一个电流的链路。由于加热层第一结构、加热层第二结构与第一连接结构形成的链路结构与加热层第三结构、加热层第四结构以及第二连接结构形成的链路结构相同，但是通过第一加热层与第二加热层的电流反向，可以把磁场抵消，实现无磁环境。通过原子气室加热芯片结构设置，调节薄膜电阻率，薄膜线条长度、薄膜厚度以及线条宽度可以使得第一加热层与第二加热层的结构获得大电阻。并且可以通过调整第一加热层与第二加热层结构的线宽和间距实现均匀加热，可以保证原子气室的温度均匀、稳定，且可以有效地避免磁干扰的问题。

公开(公告)号：CN209280902U

公开(公告)日：2019-08-20

申请号：CN201821852347.9

申请日：2018-11-09

Applicant: 中国计量科学研究院

Inventor： 蒋志远 ,  刘小赤 ,  屈继峰

IPC: G01R33/032

Abstract: 本申请提供一种微型原子气室以及基于此气室的Bell-Bloom原子磁力仪，第一玻璃片、硅片以及第二玻璃片共同包围形成了碱金属气室，并通过微机电系统工艺制备成玻璃-硅-玻璃三层结构。每个第二内壁的表面设置有反射膜，且每个反射膜与第一硅表面夹角为锐角，可以使得进入碱金属气室的入射光被第二内壁上的反射膜反射，使得入射光在碱金属气室内沿水平方向传播，并到达另一个第二内壁的反射膜上后离开碱金属气室。同时，一束探测光通过第二玻璃片直接垂直进入碱金属气室，使得经反射膜反射的入射光与探测光实现两束光的正交，并进入到光电探测器进行探测，从而形成Bell-Bloom结构光泵原子磁力仪的构型。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利