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公开(公告)号：CN209624386U
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201920051082.0
申请日：2019-01-14
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本实用新型公开了基于WO3/Pd复合膜的锥型光纤光栅氢气传感器，由光纤光栅解调仪、计算机、气体流量控制阀、气室、氢气瓶、氮气瓶、WO3/Pd复合膜、光纤耦合器、氢气检测仪、光纤、参考光栅、锥型光纤光栅、光纤光栅、光源；其中锥型光纤光栅上面镀有WO3/Pd复合膜。采用射频溅射技术向锥型光纤光栅溅5nm WO3薄膜,再利用共溅射技术溅射5nm WO3/Pd混合膜,最后用直流溅射技术溅射30nm的Pd薄膜。WO3/Pd复合薄膜具有较好的机械性能，提高光纤光栅氢气传感器的性能。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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