一种采用平衡管路的气体流量标准装置

    公开(公告)号:CN213688581U

    公开(公告)日:2021-07-13

    申请号:CN202023087023.0

    申请日:2020-12-21

    Abstract: 本实用新型公开了一种采用平衡管路的气体流量标准装置,包括汇集腔、流量调节阀、风机、流量测量管路、流量平衡管路、大气压和温湿度传感器;压力传感器;微差压传感器;测控单元;计算机;汇集腔与风机连接。流量测量管路包括测量支路联通管和测量支路(测量层流元件和测量球阀);流量平衡管路包括平衡支路联通管和平衡支路(平衡层流元件和平衡球阀);每一条测量支路对应一条结构相同的平衡支路。流量测量管路和流量平衡管路位于汇集腔的两侧;测量支路联通管引出第一取压管分别接入微差压传感器的高、低压接口;测量支路联通管引出第二取压管接入压力传感器。解决了微小气体流量准确测量和流动自动调节控制问题;适于气体微小流量检定校准。

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