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公开(公告)号：CN207164083U
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201720802396.0
申请日：2017-06-30
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01Q60/38
Abstract: 本实用新型公开了一种基于原子力探针的显微镜头与样品台锁定系统，包括显微镜头、激光器、四象限探测器、探针悬臂、原子力探针、样品台、控制单元；本实用新型利用原子力探针，通过原子间相互作用力来锁定显微镜镜头与样品台的相对位置，系统简单、成本较低且容易搭建。本实用新型可以克服镜头与样品台相对位置变化造成的图像失真，提高超分辨显微系统的工作精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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