小视场紫外物镜光学系统、紫外物镜、紫外探测器

    公开(公告)号:CN209842204U

    公开(公告)日:2019-12-24

    申请号:CN201920007320.8

    申请日:2019-01-03

    Abstract: 本申请公开了一种小视场紫外物镜光学系统、紫外物镜、紫外探测器,该光学系统包括:沿光轴从物侧到像侧依次包括:具有正光焦度的第一镜片群和具有正光焦度的第二镜片群,沿光轴从物侧到像侧第一镜片群依次包括:第一正透镜、第一负透镜、第二正透镜、光阑、第三正透镜和第二负透镜;沿光轴从物侧到像侧第二镜片群依次包括:第四正透镜和第三负透镜。该光学系统能实现紫外波段下,小视场角大孔径高分辨率共轭成像。本申请的另一方面还公开了包括该光学系统的紫外物镜和紫外探测器。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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