射频放电等离子体激活大体积吸气剂并增强吸附速率的装置

    公开(公告)号:CN112569894A

    公开(公告)日:2021-03-30

    申请号:CN201910937358.X

    申请日:2019-09-30

    Abstract: 本发明涉及一种射频放电等离子体激活大体积吸气剂并增强吸附速率的装置,包括真空腔室、抽真空系统组件、供气系统组件、射频供电系统及气压采集系统组件。当真空腔室内通过球阀及机械泵等抽真空系统组件获得一定真空后,使用供气气源及质量流量计等供气系统组件调节气体种类和压强。开启由射频电源、高频同轴线及射频耦合线圈组成的射频供电系统产生等离子体,通过真空计、真空计显示器、数字信息采集卡及电脑等采集系统组件监测腔室内气压变化,其产生的等离子体有效地激活了置于壁面带孔中空筒体内的吸气剂并且提高了吸气速率。

    双环射频容性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置

    公开(公告)号:CN114588738B

    公开(公告)日:2022-11-15

    申请号:CN202011430785.8

    申请日:2020-12-07

    Abstract: 本发明涉及一种双环射频容性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置,其中真空腔体中设有壁面带孔空心圆筒,且所述壁面带孔空心圆筒上端密封、下端开口且外壁与真空腔体底端密封连接,所述壁面带孔空心圆筒中设有电加热元件,且所述电加热元件下端由壁面带孔空心圆筒下端开口伸出至真空腔体外与外电源连接,在真空腔体外侧设有两个呈环形的单组平行电极,在真空腔体一侧设有射频供电系统,且两个单组平行电极均与所述射频供电系统相连,在真空腔体底端一侧设有抽真空系统、另一侧设有气压采集系统。本发明通过加热及射频电磁场耦合方式有效弥补单纯加热中大体积吸气剂激活时间长的缺点,且射频放电产生的等离子体能改善加强吸气剂吸气速率。

    平面射频感性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置

    公开(公告)号:CN114597109A

    公开(公告)日:2022-06-07

    申请号:CN202011430782.4

    申请日:2020-12-07

    Abstract: 本发明涉及一种平面射频感性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置,其中真空腔体中设有壁面带孔空心圆筒,且壁面带孔空心圆筒上端密封、下端开口并与真空腔体底端密封连接,壁面带孔空心圆筒中设有电加热元件,且电加热元件下端由壁面带孔空心圆筒下端开口伸出至真空腔体外与外电源连接,真空腔体内设有呈平面环状的射频耦合线圈,且射频耦合线圈位于壁面带孔空心圆筒上方,真空腔体外侧设有射频供电系统,且射频耦合线圈通过线路与射频供电系统相连,真空腔体底端两侧分别设有抽真空系统和气压采集系统。本发明通过加热及射频电磁场耦合方式有效弥补单纯加热中大体积吸气剂激活时间长的缺点,且射频放电产生的等离子体能改善加强吸气剂吸气速率。

    射频放电等离子体激活大体积吸气剂并增强吸附速率的装置

    公开(公告)号:CN112569894B

    公开(公告)日:2022-03-08

    申请号:CN201910937358.X

    申请日:2019-09-30

    Abstract: 本发明涉及一种射频放电等离子体激活大体积吸气剂并增强吸附速率的装置,包括真空腔室、抽真空系统组件、供气系统组件、射频供电系统及气压采集系统组件。当真空腔室内通过球阀及机械泵等抽真空系统组件获得一定真空后,使用供气气源及质量流量计等供气系统组件调节气体种类和压强。开启由射频电源、高频同轴线及射频耦合线圈组成的射频供电系统产生等离子体,通过真空计、真空计显示器、数字信息采集卡及电脑等采集系统组件监测腔室内气压变化,其产生的等离子体有效地激活了置于壁面带孔中空筒体内的吸气剂并且提高了吸气速率。

    一种射频放电等离子体增强吸附速率的装置

    公开(公告)号:CN112584596A

    公开(公告)日:2021-03-30

    申请号:CN201910937359.4

    申请日:2019-09-30

    Abstract: 本发明涉及一种射频放电等离子体增强吸附速率的装置,包括真空腔室、抽真空系统组件、供气系统组件、电加热系统、射频供电系统及气压采集系统组件。当真空腔室通过球阀及机械泵等抽真空系统组件获得真空并由供气气源及质量流量计等供气系统组件调节气体种类和压强后,置于真空腔室内的吸气剂经电加热丝、供电电源及地线组成的电加热系统激活吸气,此时开启由射频电源、高频同轴线及射频耦合线圈组成的射频供电系统产生等离子体。通过真空计、真空计显示器、数字信息采集卡及电脑等采集系统组件监测腔室内气压的实时变化,其产生的等离子体有效地提高了吸气速率。

    一种含碘气体净化的装置及方法

    公开(公告)号:CN106807105A

    公开(公告)日:2017-06-09

    申请号:CN201510870319.4

    申请日:2015-12-02

    CPC classification number: B01D5/0012 C01B7/14

    Abstract: 本发明公开了一种含碘气体净化的装置及方法。该气体净化装置及方法基于化学工程中的气体传热原理,当激光器尾气流经冷凝器时使用液氮将气体冷却,使绝大多数的碘蒸气凝固结晶,达到去除碘的目的,从而使气体净化。该系统在激光器尾气从真空储罐到真空泵的管路设置真空蝶阀,在两蝶阀之间安装立式冷凝器。冷凝器是一台立式管壳式换热器。激光器尾气在换热管内流动,管外是液氮汽化后的低温氮气。该装置结构紧凑,换热面积大,操作便捷,通过对气体净化解决了真空泵在抽除激光器尾气过程中碘蒸气对真空泵及泵油的腐蚀和污染,降低了真空泵及泵油的损耗,而将冷凝后的碘回收净化处理,实现了有毒废弃物循环利用,提高了资源利用率。

    一种化学吸附器结构
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106139882A

    公开(公告)日:2016-11-23

    申请号:CN201510154955.7

    申请日:2015-04-02

    Abstract: 本发明公开了一种化学吸附器的结构,吸附器芯体从上向下垂直放入吸附器壳体内;吸附器芯体主要由多孔板焊接组成方形箱体以装填吸附剂,二氧化碳气体可以透过孔板的孔与吸附剂接触反应。同时沿气流流通方向在芯体内安放通气管,该通气管表面布满小孔,气体可透过这些小孔进入吸附剂。通气管按长方形规则排列,每二列通气管间垂直安放一列加热套管,加热套管穿过主法兰盖插入芯体内部,内放加热棒。本发明使气体通过芯体表面的孔及内部通气管孔渗透,与吸附剂充分接触反应,增加反应面积,提高气体吸收速率,减少吸附剂用量,同时深入吸附器芯体内部的加热棒易使吸附剂加热干燥,操作迅速便捷。

    一种可手摇飞轮驱动转板式单重态氧发生器

    公开(公告)号:CN114614336B

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202011430908.8

    申请日:2020-12-07

    Abstract: 本发明涉及氧碘化学激光器领域,具体地说是一种可手摇飞轮驱动转板式单重态氧发生器,包括耐低温反应容器、多层薄片转板、换热器、变速箱和储能飞轮,其中多层薄片转板设于耐低温反应容器中,且所述多层薄片转板转轴、变速箱以及储能飞轮轮轴依次连接,所述多层薄片转板的每层薄片两侧均匀分布微米级圆孔,所述储能飞轮上同轴心设有驱动转板,且所述驱动转板上设有手摇握把,换热器设于耐低温反应容器中且位于所述多层薄片转板下侧,所述耐低温反应容器上端设有进气口和单重态氧出口,所述耐低温反应容器下半部内装有BHP溶液。本发明可人为控制多层薄片转板转向和转速,并提高了液膜在多层薄片转板上的吸附稳定性。

    双板射频容性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置

    公开(公告)号:CN114615785B

    公开(公告)日:2024-11-05

    申请号:CN202011431851.3

    申请日:2020-12-07

    Abstract: 本发明涉及一种双板射频容性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置,其中真空腔体中设有壁面带孔空心圆筒,且所述壁面带孔空心圆筒上端密封、下端开口且外壁与真空腔体底端密封连接,所述壁面带孔空心圆筒中设有电加热元件,且电加热元件下端由壁面带孔空心圆筒下端开口伸出至真空腔体外与外电源连接,在真空腔体顶端一侧设有抽真空系统、另一侧设有气压采集系统,在真空腔体外壁上对称设有两个凹板电极,在真空腔体一侧设有射频供电系统,且两个凹板电极均与射频供电系统相连。本发明通过加热及射频电磁场耦合方式有效弥补单纯加热中大体积吸气剂激活时间长的缺点,且射频放电产生的等离子体能改善加强吸气剂吸气速率。

    柱状射频感性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置

    公开(公告)号:CN114588739B

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN202011430896.9

    申请日:2020-12-07

    Abstract: 本发明涉及一种柱状射频感性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置,包括依次连接的供气系统、扩压器和真空腔体,其中真空腔体中设有壁面带孔空心圆筒,且壁面带孔空心圆筒上端密封、下端开口且外壁与真空腔体底端密封连接,壁面带孔空心圆筒中设有电加热元件,且电加热元件下端由壁面带孔空心圆筒下端开口伸出至真空腔体外与外电源连接,真空腔体外侧设有射频耦合螺旋线圈,真空腔体上端两侧分别设有抽真空系统和气压采集系统,真空腔体下部一侧设有射频供电系统,且射频耦合螺旋线圈通过射频供电系统供电。本发明通过加热及射频电磁场耦合方式有效弥补单纯加热中大体积吸气剂激活时间长的缺点,且射频放电产生的等离子体能改善加强吸气剂吸气速率。

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