公开(公告)号：CN203519540U

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201320599081.2

申请日：2013-09-26

Applicant: 中国矿业大学

Inventor： 马洪宇 ,  王文娟 ,  丁恩杰 ,  赵小虎 ,  程婷婷

IPC: G01N27/16

Abstract: 一种单片微瓦斯传感器，传感器的加热元件和测温元件通过固定端固定在硅框架支座上，在加热元件上设有催化剂载体，加热元件和测温元件是相互独立的，加热元件、测温元件不存在电气连接；采用加热元件单独加热催化剂载体，测温元件单独检测因瓦斯催化燃烧形成的温升；采用MEMS技术加工的用于煤矿井下检测瓦斯浓度的一种瓦斯传感器，其制备工艺与CMOS工艺兼容。优点：该传感器配置简单，操作容易，功耗低、灵敏度高。加热元件整体嵌入催化剂载体中，提高电致发热效率，高效利用加热器的热量，还可独立调控加热元件、检测测温元件。

公开(公告)号：CN203513269U

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201320600030.7

申请日：2013-09-26

Applicant: 中国矿业大学

Inventor： 马洪宇 ,  王文娟

IPC: B81B7/02 ,  G01N27/16

Abstract: 一种叠层结构的微瓦斯传感器，包括采用MEMS技术加工的单片瓦斯微反应器与单片温度检测器，二者通过键合形成整体的叠层结构的微瓦斯传感器。单片瓦斯微反应器独立加热催化剂载体，单片温度检测器独立检测单片瓦斯微反应器因瓦斯催化燃烧反应造成的温升，其测量时不受单片瓦斯微反应器上的电压或电流的影响，二者不存在电气连接，相互独立。其制备工艺与CMOS工艺兼容；该传感器可分别独立调控单片瓦斯微反应器与单片温度检测器，因此可具有多种工作模式，该传感器配置简单，操作容易，功耗低、灵敏度更高、性能稳定。