公开(公告)号：CN102605333B

公开(公告)日：2013-11-27

申请号：CN201210084926.4

申请日：2012-03-28

Applicant: 中国矿业大学

Inventor： 许程 ,  杨帅 ,  马浩 ,  王吉飞 ,  郭立童 ,  张含卓 ,  尹诗斌 ,  李大伟 ,  强颖怀 ,  刘炯天

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/00 ,  C23C14/08 ,  C23C14/58

Abstract: 一种高温环境下具有高激光损伤阈值氧化钽薄膜的制备方法，属于光学薄膜的制备方法。制备方法是：采用双离子束溅射法在洁净的基底上镀制氧化钽薄膜，然后分别采用激光预处理和退火方式对制备好的薄膜进行后处理，起到更好的修复薄膜缺陷和缓解薄膜应力的作用，制备出可以应用于高温环境下的激光薄膜。优点：1、采用了双离子束溅射的方法，制备的薄膜比较致密，改善了电子束制备方法制备的疏松薄膜易吸潮的特点，具有更好的稳定性。2、采用了激光预处理和退火相结合的方法，改善了以往只用一种方法的局限性，有利于更大限度的提升阈值。3、该方法制备的薄膜可以在最高350℃的高温环境下使用，解决了以往技术只能制备常温下使用的激光薄膜的问题。

公开(公告)号：CN202502035U

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN201220113289.4

申请日：2012-03-23

Applicant: 中国矿业大学

Inventor： 许程 ,  杨帅 ,  义鹏 ,  郭立童 ,  张含卓 ,  李大伟 ,  强颖怀 ,  刘炯天

IPC: G01N17/00

Abstract: 一种高温环境下激光辐照光学薄膜损伤阈值测量装置，包括计算机、第一激光器、反射镜、第二激光器、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、能量衰减器、分光镜、能量计、聚焦透镜、在线显微镜判断装置、耐高温可移动平台和温控箱，通过温控箱设定不同的温度和保温时间，对薄膜的即时损伤阈值和损伤耐久性进行评价。解决了现有技术只能测量常温环境下激光辐照光学薄膜损伤阈值的问题，提供了一种可以测量高温环境下激光辐照薄膜损伤阈值的装置。其结构简单易行，可进行高温环境下激光辐照光学薄膜即时损伤阈值的测量，还可对保温不同时间样品的损伤阈值进行测量，评价薄膜在高温环境下激光损伤的耐久性。