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公开(公告)号：CN108318439B
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN201810220064.0
申请日：2018-03-16
Applicant: 中电科技集团重庆声光电有限公司 , 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC: G01N21/3504 , G01N21/01
Abstract: 本发明涉及一种基于椭圆形气室结构的全集成式红外气体传感器，属于气体传感器领域。包括椭圆形集成气室和集成电路模块；所述椭圆形集成气室和集成电路模块通过键合或粘接方式层叠组装；其中，椭圆形集成气室包含气孔层硅基晶圆和光孔层硅基晶圆；气孔层硅基晶圆和光孔层硅基晶圆通过键合或粘接等方式组合形成气室；红外光由红外光源发出，从集成气室的入光孔进入气室内部，与从气孔进入气室内部的待测气体进行作用，后由出光孔射出且经过滤光片后被红外探测器接收，实现特定气体的不同浓度检测。本发明与S型或蛇形气室结构的红外气体传感器相比，红外光的传输效率更高，探测灵敏度更高。
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公开(公告)号：CN109702669A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201910123336.X
申请日：2019-02-18
Applicant: 中国电子科技集团公司第二十六研究所 , 中电科技集团重庆声光电有限公司
IPC: B25B11/00
Abstract: 本发明提供一种传感器测试夹具，包括位于底座上的三个螺纹进给机构；底座上具有设有集成模块的穿孔，螺纹进给机构包括螺杆、支撑座和滑座，螺杆以螺纹连接的方式穿过支撑座后伸入滑座内，螺纹进给机构包括x向螺纹进给机构、y向螺纹进给机构和z向螺纹进给机构，x向螺纹进给机构的滑座上固定有y向螺纹进给机构的支撑座，y向螺纹进给机构的滑座位于x向螺纹进给机构的滑座上，且x向螺纹进给机构的滑座与y向螺纹进给机构的滑座设置有与穿孔正对的通孔，y向螺纹进给机构的滑座上固定有z向螺纹进给机构的支撑座，所述z向螺纹进给机构的滑座在所述通孔内上下滑动。本发明结构简单，且能准确测试不同的气室和集成模块。
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公开(公告)号：CN114689513A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202011570165.4
申请日：2020-12-26
Applicant: 中国电子科技集团公司第二十六研究所 , 中电科技集团重庆声光电有限公司
Abstract: 本发明涉及光声气体传感器技术领域，具体涉及一种透镜型气体传感器，包括：感测室、激励元件和检测元件，所述感测室为带孔的空腔结构，所述激励元件和所述检测元件设置于感测室内部。所述感测室的结构包含电路层基板和外壳；所述激励元件包含光源、滤光片和凸透镜，所述检测元件采用气体声学探测器件。本发明的微型化光声气体传感器同传统的光声气体传感器相比，灵敏度更高、测量精度更高、分辨力更高。
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公开(公告)号：CN112816419A
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202110002775.2
申请日：2021-01-04
Applicant: 中国电子科技集团公司第二十六研究所 , 中电科技集团重庆声光电有限公司
IPC: G01N21/17
Abstract: 本发明涉及气体传感器技术领域，具体涉及一种谐振型气体传感器，包括：集成光源、光声池、声学探测器、电路层基板，所述电路层基板上设置集成光源和声学探测器，集成光源上设置有滤光片，所述光声池为半封闭腔体，所述光声池与电路层基板的形状结构相适应且共同组合成带孔的封闭腔体，电路层基板上设置的集成光源、光声池、声学探测器包裹于光声池的腔体内；所述光声池包括一个支撑骨架和多个谐振面，支撑骨架和谐振面粘连组合成半封闭腔体，谐振面中至少有一个面较薄，谐振面中的任意一面或多面开设有一个或者多个较小的气孔，气孔外侧设置有防水透气膜或防水透声膜。本发明的谐振型气体传感器灵敏度更高、测量精度更高、分辨力更高。
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公开(公告)号：CN108426833B
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN201810220654.3
申请日：2018-03-16
Applicant: 中电科技集团重庆声光电有限公司 , 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC: G01N21/01 , G01N21/3518
Abstract: 本发明涉及一种基于盒形气室结构的全集成式红外气体传感器，属于气体传感器领域。包括盒形集成气室和集成电路模块；所述盒形集成气室和集成电路模块通过键合或粘接等方式层叠组装；其中，盒形集成气室包含气孔层硅基晶圆和光孔层硅基晶圆；气孔层硅基晶圆和光孔层硅基晶圆通过键合或粘接方式组合形成气室；红外光进入具有反光内壁凹槽的盒形集成气室，在盒形集成气室内可发生多次反射后再被红外探测器接收，这种具有反光内壁凹槽的盒形集成气室可保证红外光具有较长的光程，提高红外气体传感器的探测灵敏度。本发明与S型或蛇形气室结构的红外气体传感器相比，红外光的传输效率更高，探测灵敏度更高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107328730B
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201710540697.5
申请日：2017-07-05
Applicant: 中电科技集团重庆声光电有限公司 , 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC: G01N21/3504
Abstract: 本发明公开一种全集成式红外气体传感器，包括：压电微泵层、气孔层、光腔层、电路层、红外光源、滤光片及红外敏感元，所述电路层用于输出周期性电压时序控制信号至压电微泵层以控制所述压电微泵层进行上抬或下压动作，当所述压电微泵层下压且完全遮蔽气孔层上的气孔时，所述电路层还用于输出控制信号至红外光源以使得所述红外光源发出红外光，所述滤光片用于滤除非被测气体红外特征吸收波段的红外光，所述红外敏感元用于将经过滤光片滤除及经过被测气体吸收之后的红外光转换为电信号，所述电路层还用于对转换后的电信号进行计算处理以获得被测气体的浓度值。本发明还提供了一种全集成式红外气体传感器的工作方法。
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公开(公告)号：CN105526965A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201510998091.7
申请日：2015-12-28
Applicant: 中国电子科技集团公司第二十六研究所
Abstract: 本发明公开了一种低功耗馆藏文物保存环境监测节点，包括传感单元、微处理器、无线通讯模块、电源以及电源管理模块；所述传感单元和无线通讯模块均与微处理器相连，所述电源经电源管理模块后为传感单元、微处理器及无线通讯模块通电；所述微处理器能够通过电源管理模块根据设定时序控制传感单元和无线通讯模块启动工作或进入休眠状态。本发明能够有效降低监测节点的工作能耗，从而大大延长使用寿命。
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公开(公告)号：CN114878476A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210638471.X
申请日：2022-06-08
Applicant: 中电科技集团重庆声光电有限公司 , 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC: G01N21/17 , G01N21/3504
Abstract: 本发明涉及气体传感器技术领域，具体涉及一种微型化传感信号采集处理芯片及其工作方法，所述微型化传感信号采集处理芯片包括高密度基板和封装管壳，高密度基板背面设有BGA植球，高密度基板正面设有辅助元件和核心元件，辅助元件包括电阻和电容，核心元件包括差分器、抗混叠滤波器、模拟/数字转换器、微处理器、存储器和晶振，封装管壳安装在高密度基板正面上方形成密封腔，本发明的芯片实现传感信号的精准分析，从而提高传感器的测量精度，同时，该芯片具有体积小、精度高、方便快捷的使用特点，有利于光声光谱型气体传感器的小型化。
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公开(公告)号：CN108318439A
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201810220064.0
申请日：2018-03-16
Applicant: 中电科技集团重庆声光电有限公司 , 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC: G01N21/3504 , G01N21/01
Abstract: 本发明涉及一种基于椭圆形气室结构的全集成式红外气体传感器，属于气体传感器领域。包括椭圆形集成气室和集成电路模块；所述椭圆形集成气室和集成电路模块通过键合或粘接方式层叠组装；其中，椭圆形集成气室包含气孔层硅基晶圆和光孔层硅基晶圆；气孔层硅基晶圆和光孔层硅基晶圆通过键合或粘接等方式组合形成气室；红外光由红外光源发出，从集成气室的入光孔进入气室内部，与从气孔进入气室内部的待测气体进行作用，后由出光孔射出且经过滤光片后被红外探测器接收，实现特定气体的不同浓度检测。本发明与S型或蛇形气室结构的红外气体传感器相比，红外光的传输效率更高，探测灵敏度更高。
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公开(公告)号：CN105466492A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510998092.1
申请日：2015-12-28
Applicant: 中国电子科技集团公司第二十六研究所
Abstract: 本发明公开了一种多适用性馆藏文物保存环境监测终端，包括传感器模块、信号采集与处理模块、无线通讯模块、电源以及电源管理模块；所述信号采集与处理模块包括传感器接口电路和信号处理器，所述传感器接口电路与信号处理器相连，同时，该信号处理器与无线通讯模块相连；所述电源与电源管理模块相连，通过电源管理模块对传感器模块、信号采集与处理模块、以及无线通讯模块供电。本发明能够适用于各种环境的监测，并且能耗低，维护方便，使用成本低。
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