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公开(公告)号：CN203715719U
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201420111949.4
申请日：2014-03-12
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/35
Abstract: 本实用新型涉及一种旋转阴极的排水装置，包含水路循环轴，水路循环轴的内部包含第一进水通道和第二进水通道构成的中空结构；其中，第二进水通道的开口直径大于第一进水通道的开口直径，且第二进水通道包含头段和尾段，头段的开口直径小于尾段的开口直径。还包含：设置在循环轴第二进水通道内的弹簧、与弹簧连接的密封板和位于密封板下方的出水器壳体、贯穿出水器壳体并抵住密封板的螺栓；出水器壳体内具有一个与第二进水通道连通的出水通道。同现有技术相比，换靶时，只需将螺栓从出水器壳体内逐渐旋进，并推动密封板向上运动使得密封板与出水器壳体分离，使得靶筒内的水可通过第一和第二进水通道后从出水通道排出，即完成整个换靶时的排水过程。
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