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公开(公告)号：CN102175243B
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201110025578.9
申请日：2011-01-24
Applicant: 中北大学
IPC: G01C21/16
Abstract: 本发明涉及惯性导航测量技术，具体是一种适用于半捷联式惯性测量系统的多重抗高过载装置。本发明解决了目前尚无一种专门用于在大过载下保护半捷联式惯性测量系统不受破坏的装置的问题。一种适用于半捷联式惯性测量系统的多重抗高过载装置包括外筒、内筒、惯性测量单元、质量偏心模块、以及电路板；外筒与内筒之间设有第一轴承和第二轴承；还包括组合缓冲垫模块、对顶半球缓冲模块、以及减震垫阵列。本发明通过采用多级缓冲模块对半捷联式惯性测量系统进行抗过载保护，彻底有效地解决了目前尚无一种专门用于在大过载下保护半捷联式惯性测量系统不受破坏的装置的问题，适用于高速旋转飞行体姿态测量过程中半捷联式惯性测量系统的抗过载保护。
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公开(公告)号：CN101639488A
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200910075247.9
申请日：2009-08-22
Applicant: 中北大学
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明涉及MEMS类传感器-微加速度计的测试方法，具体是一种微加速度计可靠性强化试验测试方法。能够了解微加速度计在温度、振动和湿度综合应力环境下的失效模式，方便产品研发，改善产品整体性能，步骤如下：1.微加速度计于温度应力下的强化测试步骤；2.微加速度计于温度、振动综合应力下的强化测试步骤；3.微加速度计于温度、振动、湿度综合应力下的强化测试步骤。本发明兼顾温度、振动和湿度三应力对微加速度计内部结构的影响。通过对微加速度计逐步施加温度、振动和湿度三应力，了解与微加速度计功能失效前和失效时对应的三应力情况，以便解决微加速度计的缺陷，提高微加速度计的整体性能、可靠性，利于高可靠性微加速度计新产品开发。
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公开(公告)号：CN101510486A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200910074022.1
申请日：2009-03-24
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及MEMS器件，具体是一种基于凝胶纤维与微胶囊技术的微致动开关。进一步了研发高性能微致动开关，包括开关主体，开关主体包含两侧分别设置有支撑体的底座、通过底座一侧支撑体支悬设置的悬臂梁，悬臂梁下方底座上设有底电极，悬臂梁下表面设有顶电极，底座另一侧支撑体上支悬固定有凝胶纤维，凝胶纤维的自由端固定有置于悬臂梁自由端正下方的滑块，凝胶纤维外涂敷有内为酸性介质的微胶囊涂层；开关主体还包括设置于底座上的：通过弹性梁支悬设置质量块的支撑架、分别位于滑块两侧的两开关柱，两开关柱顶面设有电极，悬臂梁自由端下表面设有电极。结构合理、紧凑，可靠性高，应用范围广，再一次验证了将非硅材料应用于MEMS器件构成中的可行性。
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公开(公告)号：CN103983281A
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201410243439.7
申请日：2014-06-03
Applicant: 中北大学
IPC: G01C25/00
CPC classification number: G01C25/005 , G01C21/16
Abstract: 本发明涉及半捷联惯性测量技术，具体是一种主动式半捷联系统同轴度误差解析评定与补偿方法。本发明解决了主动式半捷联系统的同轴度误差影响主动式半捷联系统的整体结构强度、稳定性、减旋精度、以及测量精度的问题。一种主动式半捷联系统同轴度误差解析评定与补偿方法，该方法是采用如下步骤实现的：1)主动式半捷联系统的外筒同轴度误差的解析评定；2)主动式半捷联系统的内筒同轴度误差角的动态标定与补偿；3)主动式半捷联系统的基准轴线的统一。本发明适用于高旋弹药飞行姿态的精确测量。
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公开(公告)号：CN102866262B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201210336902.3
申请日：2012-09-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明涉及微加速度计，具体为一种阵列式单芯片集成数字微加速度计，解决了现有的加速度传感器体积大，现有的加速度计单元达不到满量程输出、固支梁的根部易断裂、高低量程的加速度计达不到优化配置的技术问题。一种阵列式单芯片集成数字微加速度计，包括单晶硅材料的结构层（2）；所述结构层（2）分为左右两部分，所述结构层（2）右面的上下两部分分别集成有不同量程的第一压阻式加速度计单元（21）和第二压阻式加速度计单元（22）；结构层（2）左面集成有对第一、二压阻式加速度计单元（21、22）的输出信号进行放大滤波处理的CMOS电路。本发明将加速度计阵列单元与信号处理电路集成到一块芯片上，实现了微型化和集成化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102928622B
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201210392440.7
申请日：2012-10-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及MEMS传感器，具体是一种梁岛塔形压阻式三轴MEMS高量程加速度传感器阵列。本发明解决了现有压阻式MEMS加速度传感器耦合过大、机械精度低、以及体积和质量过大的问题。梁岛塔形压阻式三轴MEMS高量程加速度传感器阵列，包括第一六梁双岛T形结构传感器、第二六梁双岛T形结构传感器、以及四梁锥台结构传感器；所述第一六梁双岛T形结构传感器包括X轴加速度传感器、Z轴低量程加速度传感器、以及第一正方形硅基框架；所述第二六梁双岛T形结构传感器包括Y轴加速度传感器、Z轴中量程加速度传感器、以及第二正方形硅基框架。本发明适用于测量高量程的冲击加速度。
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公开(公告)号：CN102621350B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201210109295.7
申请日：2012-04-16
Applicant: 中北大学
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明涉及高g值微加速度计的环境因子的确定方法，具体是一种高g值微加速度计在不同环境下环境因子的确定方法。本发明解决了目前尚无一种专用于确定高g值微加速度计的环境因子的方法的问题。高g值微加速度计在不同环境下环境因子的确定方法，该方法是采用如下步骤实现的：1）测定样品在温湿环境、振动环境下的性能参数；2）分析得到高g值微加速度计在温湿环境、振动环境下的失效概率；3）分析推断出高g值微加速度计在温湿环境下、振动环境下所服从的可靠性模型；4）折算出高g值微加速度计的环境因子。本发明解决了目前尚无一种专用于确定高g值微加速度计的环境因子的方法的问题，适用于高g值微加速度计的环境因子的确定。
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公开(公告)号：CN103245798A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310148544.8
申请日：2013-04-26
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/00
Abstract: 本发明涉及高量程加速度传感器的滤波技术，具体是一种高量程加速度传感器的机械滤波方法。本发明解决了现有高量程加速度传感器的滤波技术无法避免高频噪声对高量程加速度传感器的损害、制作工艺复杂、生产成本高、以及无法满足高量程加速度传感器对微型化的要求的问题。高量程加速度传感器的机械滤波方法，该方法是采用如下步骤实现的：a.选取缓冲层作为内滤波结构，并通过缓冲层将高量程加速度传感器的敏感结构粘结于高量程加速度传感器的管壳的内腔底面上；b.选取台形结构作为外滤波结构，并保证台形结构的上底面的面积大于高量程加速度传感器的管壳的下底面的面积。本发明适用于对高量程加速度传感器进行滤波。
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公开(公告)号：CN101857190B
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201010210817.3
申请日：2010-06-23
Applicant: 中北大学
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明涉及MEMS传感器，具体是一种MEMS传感器在应用环境下使用可靠度的确定方法。确定了MEMS传感器在应用环境下的可靠性指标，步骤如下：1)、测定MEMS传感器能正常工作的温度、振动、冲击三参数的极限应力；2)、统计推断与MEMS传感器温度、振动、冲击三参数极限应力对应的分布函数；3)、统计推断与具体应用环境温度、振动、冲击三参数应力变化对应的分布函数；4)、确定具体应用环境中温度、振动、冲击三参数应力变化分别能引起MEMS传感器失效的概率；5)、确定具体应用环境中MEMS传感器的使用可靠度。以MEMS传感器在具体应用环境中正常工作的总概率P(X)作为MEMS传感器的可靠性指标，将MEMS传感器的可靠性进行量化标定，表明了MEMS传感器在应用环境下的使用可靠度。
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公开(公告)号：CN102175243A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201110025578.9
申请日：2011-01-24
Applicant: 中北大学
IPC: G01C21/16
Abstract: 本发明涉及惯性导航测量技术，具体是一种适用于半捷联式惯性测量系统的多重抗高过载装置。本发明解决了目前尚无一种专门用于在大过载下保护半捷联式惯性测量系统不受破坏的装置的问题。一种适用于半捷联式惯性测量系统的多重抗高过载装置包括外筒、内筒、惯性测量单元、质量偏心模块、以及电路板；外筒与内筒之间设有第一轴承和第二轴承；还包括组合缓冲垫模块、对顶半球缓冲模块、以及减震垫阵列。本发明通过采用多级缓冲模块对半捷联式惯性测量系统进行抗过载保护，彻底有效地解决了目前尚无一种专门用于在大过载下保护半捷联式惯性测量系统不受破坏的装置的问题，适用于高速旋转飞行体姿态测量过程中半捷联式惯性测量系统的抗过载保护。
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