公开(公告)号：CN102047152B

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：CN200980119437.4

申请日：2009-04-30

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 池田武司 ,  青木英士 ,  原田元气

IPC: G02B5/20 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40

CPC classification number: G02B5/223 ,  G02B5/201 ,  G03F1/50 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/105 ,  G03F7/2002

Abstract: 一种滤色器的制造方法，按如下顺序多次重复至少如下工序：涂布工序，在基板上涂布由感光性树脂组成物构成的感光性树脂层；图案曝光工序，对感光性树脂层进行图案曝光并使其固化；显影工序，对感光性树脂层进行显影；以及烧成工序，使显影后的感光性树脂层热固化，形成滤波器节及黑矩阵，在上述曝光工序中，将激光用作光源，且经由用于形成像素的光掩模，以累积曝光量成为1～150mJ/cm2的方式进行接近式曝光。