公开(公告)号：CN101402444B

公开(公告)日：2010-12-29

申请号：CN200810235049.X

申请日：2008-11-07

Applicant: 东南大学

Inventor： 李普 ,  方玉明

IPC: G01H13/00 ,  H03H3/10 ,  B81B3/00 ,  B81C5/00

Abstract: 本发明公布了一种模态激励两端固定微梁及其模态形状电极的宽度确定方法，属微机电系统MEMS领域。所述模态激励两端固定微梁，包括弹性微梁、两端固定支承模块、模态形状电极。所述模态形状电极的宽度确定方法包括：确定两端固定微梁的尺寸，通过两端固定支承模块在弹性微梁和驱动电极间加电压，采用模态函数曲线作为驱动电极的基本形状，得到模态形状电极宽度。本发明结构简单，模态阶数可以按需求选择，不会引起模态截断误差，测试精度高。

公开(公告)号：CN109245602A

公开(公告)日：2019-01-18

申请号：CN201811188178.8

申请日：2018-10-12

Applicant: 东南大学

Inventor： 李普 ,  方玉明 ,  台永鹏

IPC: H02N2/04

Abstract: 本发明公开了一种低挤压膜阻尼微谐振器，具有均匀穿孔比0.2的振子、弹性支撑梁、固定支撑和基底。在振子上大量穿通孔，这些通孔均匀对称分布。这些通孔能将挤压膜间隙内的气体释放出来，大大降低了挤压膜内外的压力差，从而大大降低挤压膜阻尼，显著提高了品质因数。同时也减小了振子质量，改变了器件动态性能。在很多场合下，这是不能接受的。本发明提出的穿孔比0.2的振子，挤压膜阻尼降低超过2/3，但其质量仅降低4%。

公开(公告)号：CN203675064U

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201420001856.6

申请日：2014-01-02

Applicant: 东南大学

Inventor： 李普 ,  方玉明 ,  台永鹏

IPC: H03H9/24

Abstract: 本实用新型公开了一种低热弹性阻尼扭转式微机电谐振器件，包括基底、设置在基底上的低热弹性阻尼结构、驱动电极和感应电极，以及由低热弹性阻尼结构支撑的扭转平板，低热弹性阻尼结构包括位于同一轴线上的、具有矩形截面的第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁，扭转平板能够绕第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁所在的轴线旋转，驱动电极和感应电极对称设置在低热弹性阻尼结构的轴线两侧，第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁的矩形截面的长边垂直于基底。本实用新型中扭转支撑梁横截面的长边保持垂直于基底平面，此时产生的热弹性阻尼是小于长边水平放置，尤其是高频时，热弹性阻尼明显下降。

公开(公告)号：CN203675063U

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201420000914.3

申请日：2014-01-02

Applicant: 东南大学

Inventor： 李普 ,  方玉明 ,  台永鹏

IPC: H03H9/24

Abstract: 本实用新型公布了一种具有无热弹性阻尼结构扭转微机电谐振器件，包括基底、设置在基底上的第一驱动电极、第二驱动电极、感应电极、位于同一轴线上的第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁，以及由第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁共同支撑的扭转平板。扭转平板能够绕第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁所构成的扭转轴线旋转，第一驱动电极和第二驱动电极设置在扭转轴线的同一侧，感应电极设置在扭转轴线的另一侧，第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁的横向截面积相等。本实用新型的微机电谐振器件中，驱动电极能产生纯扭转力矩，纯扭转力矩引起纯扭转变形，纯扭转变形不产生热弹性阻尼。