公开(公告)号：CN201382956Y

公开(公告)日：2010-01-13

申请号：CN200920036711.9

申请日：2009-02-23

Applicant: 东南大学

Inventor： 张彤 ,  薛晓军 ,  张晓阳 ,  吴朋钦

IPC: G01P15/03 ,  B81B7/02 ,  G02B26/00 ,  G02B26/06 ,  G02B6/26

Abstract: 集成光波导加速度计涉及一种悬臂梁结构的谐振式集成光波导加速度计，更确切的说是一种单片集成的高灵敏度的加速度计，该加速度计由输入波导、不对称结构的马赫-曾德尔干涉器、微机械振动悬臂梁、弯曲波导、输出波导构成，其中，输入波导(1)、不对称结构的马赫-曾德尔干涉器(2)、微机械振动悬臂梁(3)、短弯曲波导(4)、输出波导(5)均包括有机聚合物衬底(12)、有机聚合物波导芯层(13)、有机聚合物波导包层(14)；微机械振动悬臂梁(3)为双梁结构，由两根平行且对称分布的微悬臂梁(16)与质量块(17)连接构成，微悬臂梁(16)的一端固定在基座(11)上，另一端连接质量块(17)，质量块(17)自由悬空。