公开(公告)号：CN108028193A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201680056032.0

申请日：2016-09-29

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 江头浩司 ,  山下刚秀 ,  本田儀幸 ,  吉田祐希 ,  川渕洋介

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67034 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32715 ,  H01J2237/335 ,  H01L21/02101 ,  H01L21/304

Abstract: 在比由处理室(81、201)内的基板保持部(89、204)保持着的基板(W)的端缘靠外侧的位置设置有喷射气体的气体喷射口(74、205)。从气体喷射口(74、205)喷射来的气体形成在沿着由基板保持部保持着的基板的第1面(表面)的方向上流动的气体的流动。随着气体的流动，升华了的升华性物质的气体和气体所含有的异物被从基板的附近去除。气体也作为从加热部(88、203)向基板的传热介质起作用。