公开(公告)号：CN103302009A

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201310057869.5

申请日：2013-02-25

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 宫岛勇也

IPC: B05D3/04 ,  B05C13/00

Abstract: 本发明提供一种热处理装置，在进行热处理时能够抑制涂布膜上形成干燥不匀，该热处理装置包括：多个振动板部（2），在搬运基板（W）的方向上并排排列；超声波发生部（4），向各振动板部（2）施加超声波振动；温度控制部（3），将规定的振动板部（2）温度控制在规定的温度，并且，对基板（W）以超声波振动悬浮来搬运的同时给基板（W）实施热处理，其中，部分或者全部振动板部（2）之间进一步配置有通过气体的喷射来使基板（W）悬浮的气体悬浮部（6）。

公开(公告)号：CN102437076A

公开(公告)日：2012-05-02

申请号：CN201110277138.2

申请日：2011-09-19

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 内泻外茂夫 ,  奥田大辅 ,  冈本俊一 ,  宫岛勇也 ,  姬野贵正

IPC: H01L21/677 ,  B65G51/03

Abstract: 本发明涉及一种基板输送装置，该基板输送装置能够抑制基板上的涂布膜上发生干燥不匀而输送基板，另外，即使装置的制造和组装误差大时也能够抑制颗粒的发生。该基板输送装置将从载物台的表面浮起的基板用基板导向件边引导边输送，基板导向件包括：基板导向件主体，通过与基板侧面抵接来约束基板，并且能够朝向与载物台表面呈垂直的方向位移；浮起单元，用于将基板导向件主体从载物台表面浮起；偏向装置，用于使基板导向件主体偏向于载物台表面侧，其中，所述基板导向件主体包括与基板侧面抵接的基板抵接部，该基板抵接部的高度位置通过浮起单元和偏向装置保持在从载物台表面浮起的基板的高度位置上。