-
公开(公告)号：CN202633251U
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201220185498.X
申请日：2012-04-27
Applicant: 上海新傲科技股份有限公司
IPC: H01L21/673 , H01L21/324
Abstract: 本实用新型提供了一种用于晶圆的退火舟以及退火装置，所述用于晶圆的退火舟包括基座和设置在基座表面的一圆弧形侧壁，所述侧壁上平行设置有多个水平凹槽，所述凹槽内壁上设置有至少三个的突起。本实用新型的优点在于，实现了在卧式炉上让晶圆水平进行热处理，舟在放置于桨的一端时，即使桨发生翘曲差异，也不会造成晶圆的倾斜，不会对晶圆侧面造成损伤，且晶圆侧边也不再承担本身重量，有效减少崩边和缺口等现象。
Search Results
11
records
(took 0.037 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
