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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103866274A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201210553007.7
申请日：2012-12-18
Applicant: 上海鸿辉光通科技股份有限公司
IPC: C23C16/40 , C23C16/455
Abstract: 本发明公开了一种用于制备晶圆上包层的专用设备，该专用设备安装于旋转平台的上方，若干个晶圆设于所述旋转平台的顶面上且均分于同一圆周上，其特征在于，所述专用设备包括至少两个火炬，所述火炬竖直设置于所述旋转平台的上方，所述火炬向下延伸至所述旋转平台顶面上的垂足均布于同一圆周上，且与所述晶圆所位于的圆周重合。本发明通过增加火炬的数量，在反应速度以及其他条件不改变的情况下，既节约了工作时间，又提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN203273274U
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201320257464.1
申请日：2013-05-13
Applicant: 上海鸿辉光通科技股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种高纯度三氯氧磷供料钢瓶，包括钢瓶本体，分别设于钢瓶本体顶部、带有三向氮气进气阀的氮气进气管和带有三向三氯氧磷供料阀的三氯氧磷供料管，两端分别连通所述氮气进气管和三氯氧磷供料管顶部且带有第一阀门的横向管道，以及两端分别连通氮气进气阀和三氯氧磷供料阀且带有第二阀门的连通管道，三氯氧磷供料管的底端插入钢瓶本体的底部，横向管道位于氮气进气阀和三氯氧磷供料阀的上方。本实用新型通过在氮气进气阀和三氯氧磷供料阀之间增设一带阀门的管道，使得靠近氮气进气阀、三氯氧磷供料阀的管路由原先的不能冲刷变成可以冲刷干净，避免了三氯氧磷的残留，使得管道保持畅通，保证了设备的运行安全。
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公开(公告)号：CN203007402U
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201220704166.8
申请日：2012-12-18
Applicant: 上海鸿辉光通科技股份有限公司
IPC: C23C16/40 , C23C16/455
Abstract: 本实用新型公开了一种用于制备晶圆上包层的专用设备，该专用设备安装于旋转平台的上方，若干个晶圆设于所述旋转平台的顶面上且均分于同一圆周上，其特征在于，所述专用设备包括至少两个火炬，所述火炬竖直设置于所述旋转平台的上方，所述火炬向下延伸至所述旋转平台顶面上的垂足均布于同一圆周上，且与所述晶圆所位于的圆周重合。本实用新型通过增加火炬的数量，在反应速度以及其他条件不改变的情况下，既节约了工作时间，又提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN204661824U
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201520355260.0
申请日：2015-05-28
Applicant: 上海鸿辉光通科技股份有限公司
IPC: C23C16/458
Abstract: 本实用新型公开了一种晶圆生产用旋转平台，述旋转平台表面呈圆形，围绕该圆形表面的圆心环形阵列地开设有12个深度为2mm、直径为6英寸的第一圆孔，围绕该圆形表面的圆心环形阵列地开设有10个深度为1mm、直径为8英寸的第二圆孔。从而不用更换平台实现两种尺寸晶圆的生产，并且提高生产效率和降低成本。
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公开(公告)号：CN203264433U
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201320257448.2
申请日：2013-05-13
Applicant: 上海鸿辉光通科技股份有限公司
IPC: B01D36/00
Abstract: 本实用新型公开了一种用于冷却循环水系统的过滤结构，所述冷却循环水系统上连接有自来水进水管道，所述自来水进水管道上设有第一阀门和第二阀门，位于所述第一阀门和第二阀门两侧的自来水进水管道通过带有第三阀门的旁路管道连通，位于所述第一阀门和第二阀门之间的自来水进水管道上依次设有第一滤芯和第二滤芯。本实用新型在冷却循环水系统的进水管路上增设了两个滤芯，起到双层过滤作用，使自来水杂质充分在两个滤芯里过滤，杂质能沉淀在滤芯中，使得流向下端的水质有明显的提高，保证了下端处机台以及车间的稳定运行。
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