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公开(公告)号：CN100493452C
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：CN200510112217.2
申请日：2005-12-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种传感器技术领域的微型人类呼吸传感器。本发明包括：衬底、微电极或者其阵列层，微电极或者其阵列层设置在衬底上，微电极或者其阵列层中，微电极或者其阵列的阴阳两极由空气间隔相互隔离。本发明灵敏度高，信噪比高，不需要接触人体，安全性、稳定性高，根据应用场合工作电压可以控制在几伏到几十伏，敏感单元核心能耗处于10-5瓦特数量级，结构简单，适于量产，易于阵列化且制造成本低。可以用于医疗、心理分析等领域。
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公开(公告)号：CN100443893C
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200510112214.9
申请日：2005-12-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微细加工技术领域的基于一维纳米材料的微气体传感器的制造方法，包括如下步骤：(1)衬底的清洗，(2)底电极层的制备，(3)金属支柱层的制备，(4)金属顶电极层的制备，(5)去除微铸模。本发明提出使用标准微电子加工技术中图形转换技术和金属微电铸技术，作为实现基于一维纳米材料的微气体传感器的制造工艺，可以极大提高对该种传感器核心结构要素的控制精度和器件结构设计的灵活性。因此可以极大提高器件的性能，包括提高精度、敏感度、安全性、稳定性和降低能耗与成本。并可以方便地实现器件的阵列化设计，并方便实现微型智能传感器。
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公开(公告)号：CN100410659C
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200510112216.8
申请日：2005-12-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种传感器技术领域的使用一维纳米材料的微型气体传感器。本发明包括：衬底、金属底电极层、一维纳米材料层、金属支柱层、金属顶电极层。其中，金属底电极层设置在衬底上，一维纳米材料层设置在金属底电极层之上，金属支柱层设置在衬底之上，金属顶电极层设置在衬底上。金属底电极层、一维纳米材料层与金属支柱层之间相互隔离，金属顶电极层和金属底电极层、一维纳米材料层之间有气体间隙相互隔离。本发明具有选择性高、灵敏度高、低能耗、成本低、易于实现阵列化、小型化的优点，并有利于提高安全性、稳定性。
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公开(公告)号：CN101003909A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200610147648.7
申请日：2006-12-21
Applicant: 上海交通大学
IPC: C25D15/02
Abstract: 一种电化学组合沉积制备碳纳米管－金属复合膜结构的方法，属于纳米材料技术领域。本发明将经纯化、剪切、分散处理后的碳纳米管配制成稳定分散的碳纳米管电泳溶液，电泳溶液中含有碳纳米管、电泳分散剂以及用于电荷修饰的荷电辅助盐；在电极上施加电压，通过电泳方法先在基片上沉积一层均匀的碳管薄膜，然后将上述薄膜放入电镀液中，通过电化学方法在碳管间的微结构中形成金属导电膜。本发明降低了金属和碳管的接触电阻，发挥了碳管良好导电、导热性能，并且碳管与导电衬底的结合能力也得到提高。本发明与微细加工有较好的兼容性，具有设备工艺简单、可大面积制备、操作可控性强、高效低成本等特点。
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公开(公告)号：CN1929110A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200610116290.1
申请日：2006-09-21
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L21/768
Abstract: 一种碳纳米管/铜复合镀膜及电互连引线的制备方法，属于电子材料与器件领域。本发明将经纯化、分散修饰后的碳纳米管配制成稳定分散的碳纳米管—铜复合镀液，通过电化学或化学沉积方法制备碳纳米管—铜复合镀层，进一步结合微结构电镀、光刻刻蚀、剥离方法，形成微互连引线结构。本发明利用导电、导热特性优异的碳纳米管作为功能添加材料，通过复合沉积的方法将碳纳米管均匀结合到铜基质材料中，可以显著地改善器件的电子传输能力和散热性能，消除电迁移对器件性能的影响。本发明工艺简单、易行，与现有工艺有较强的兼容性，有助于实施和推广应用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1424424A
公开(公告)日：2003-06-18
申请号：CN02157786.2
申请日：2002-12-26
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 超声起雾效应制备薄膜的大面积沉积设备属于薄膜材料领域。主要包括：加热炉、超声起雾器、雾气输送系统、雾气均匀分配喷头、负压尾气抽取与处理系统、样品装载机构和样品输送机构，雾气均匀分配喷头和样品输送机构直接与加热炉相连接，雾气输送系统、超声起雾器、雾气均匀分配喷头、尾气抽取与处理系统则通过小口径管路依次相连接，样品装载机构是独立的部件，与样品一起装载和卸载。本发明使在大面积上获得膜厚均匀的各种薄膜在技术上成为可能，设备成本大大降低，设备成本仅为同样生产能力的常压化学气相沉积设备的1/3左右，这样的价格减少正是氧化物透明导电膜玻璃在这些领域得到大规模应用的必要条件。
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公开(公告)号：CN104103698B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201410317645.8
申请日：2014-07-03
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L31/0224
Abstract: 本发明公开了一种太阳能电池栅线电极，电极的形状类似叶脉，栅线电极分为多级栅线，栅线的宽度设计根据太阳电池表面所流经的光生电流大小分布所确定，流经电流大的位置栅线相应较宽，流经电流小的位置栅线相应较窄。本发明所述的叶脉形栅线电极可以时太阳电池光电流收集和传导的效率最大化，同时减少了栅线的遮光面积和制作电极的银浆耗量，有效提高太阳能电池效率和降低生产成本。
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公开(公告)号：CN103225862B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201310113518.1
申请日：2013-04-02
Applicant: 上海交通大学
CPC classification number: Y02B30/80
Abstract: 本发明公开了一种电离水蒸气产生负离子的装置，包括超声雾化加湿器、负高压电源以及设置在超声雾化加湿器的喷管内的两组相对应的多级尖端放电电极，所述两组多级尖端放电电极下端均设置有“U”型排水结构，所述负高压电源的负极线和地线分别与两组相对应的多级尖端放电电极电连接。本发明装置不会产生诸如氮的氧化物的这一类有害气体，同时也比仅依靠超声雾化作用来产生的负离子要高出至少一个数量级，并且可以杀死水雾中的细菌从而降低肺炎等疾病的潜在发病率。此外，接地极的电极对大粒径水雾表现出相对较大的收集现象，使水雾粒径更为细小均匀，可以改善水雾的加湿特性减轻由加湿器引起的空气混浊现象。
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公开(公告)号：CN102384962B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201110352980.8
申请日：2011-11-09
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01N33/00
Abstract: 本发明涉及传感器性能测试装置，尤其涉及一种气敏传感器性能测试装置。一种气敏传感器性能测试装置，包括：控温控湿机构，所述控温控湿机构用于控制所述测试室的温湿度；所述控温控湿机构包括：加热管层，制冷管层，保温层，湿度调节器；所述加热管层围出一个腔体，所述测试室包括测试区域，所述测试区域是所述腔体中的空间区域，所述加热管层中设置有加热管；所述制冷管层包裹所述加热管层，所述制冷管层中设置有制冷管；所述保温层包裹所述制冷管层；所述加热管层、所述制冷管层和所述保温层设置有安装孔，所述湿度调节器固定设置于所述安装孔中并且位于所述测试区域内。本发明解决了现有的气敏传感器性能测试装置只能模拟高温环境的技术问题。
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公开(公告)号：CN102500912B
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201110369548.X
申请日：2011-11-18
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及一种利用超声纳米焊接方法对金属进行表面改性的方法，属纳米材料技术领域。该方法包括如下步骤：清洁金属需处理区表面；在清洁后的金属表面涂覆纳米粉末材料；对金属表面的纳米粉末材料施加超声纳米焊接方法，得到改性的金属表面。本发明方法操作简单，焊接参数易控。纳米材料与金属基底的焊接区域形成局部互溶体，界面浸润性好，增强了机械结合，有利于充分发挥纳米材料的增强功能；纳米材料在金属表面分布致密均匀，表面光洁，无裂纹和气孔。
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