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公开(公告)号：CN112631425B
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202011515537.3
申请日：2020-12-21
Applicant: 上海交通大学
IPC: G06F3/01
Abstract: 本发明提供一种微针阵列式脑机接口器件及其制备方法，包括：采用非导电材料作为针间绝缘层，在针间绝缘层制备若干通孔；在导电材料层上制备若干金属焊盘；将导电材料层设置于针间绝缘层下方，并将导电材料层的上表面与针间绝缘层的下表面连接；将导电材料层加工成呈阵列分布的微柱状结构，使微柱状结构之间相互绝缘；将微柱状结构加工成底端为针尖的微针结构，形成呈阵列分布且针尖朝下的微针阵列层；在微针阵列层的上方制备用于连接外部电路的外部引线；在微针阵列层的针尖上制备电极点；得到微针阵列式脑机接口器件。本发明具备减少微针阵列式脑机接口器件的工艺步骤，提高生产效率和成品率，降低器件的加工成本等优点。
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公开(公告)号：CN113974635A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111231431.5
申请日：2021-10-22
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种可穿戴的HD‑sEMG传感器及其制备方法，包括：电极阵列结构、凝胶电极单元以及超弹性连接部，所述电极阵列结构为阵列式布置的多个子阵列结构，包括基层、第一电极层、第二电极层、第一封装层和第二封装层；所述凝胶电极单元设置在所述第一封装层的外侧，并被配置成可与被试体黏贴；所述超弹性连接部由超弹性材料制成，并被配置成将所述多个子阵列结构相互连接起来；所述凝胶电极单元包括与多个相对应的干电极中的每一对相对应的凝胶电极，所述凝胶电极通过竖直布置并穿过各层的通孔与相对应的干电极对进行电连接。本发明具有很好的拉伸性、可重复使用，可用于颈部吞咽肌电采集。
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公开(公告)号：CN113956516A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202111429264.5
申请日：2021-11-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种CH聚合物球壳靶的制备方法，所述方法包括：提供CH聚合物溶液；将所述CH聚合物溶液在平面基底上形成薄膜，得到聚合物平面膜；将所述聚合物平面膜从所述平面基底剥离后，平铺在固定于网格中的球模上；将所述聚合物平面膜和所述球模一同置于烘箱中缓慢升至预设温度，并保温预设时长后随炉冷却，得到球冠膜；对所述球冠膜激光切割后沿切割轮廓进行剥离，得到CH聚合物球壳靶。本发明的制备方法具有简单高效的优点，所制备的CH聚合物球壳靶适用于惯性约束聚变实验。
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公开(公告)号：CN113916954A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111158656.2
申请日：2021-09-30
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01N27/30
Abstract: 本发明公布了一种集成片上原位微型银氯化银参比电极以及其制备方法。该片上原位微型银氯化银参比电极包括：硅基衬底，在硅基衬底结构上生长的绝缘层，溅射的金属种子层，电化学电镀的银层，以及腐蚀得到的氯化银层，滴涂法得到的保护层涂层。本发明实现的片上原位微型银氯化银参比电极和传统微机电加工工艺方法高度兼容。和商用的银氯化银参比的电极相比，具有高度集成化，微型化，应用场景多样化等优势。在生物监测和化学传感领域，能够广泛应用于生物体内实时精准电位标定，并且植入后造成较小的植入损伤。该片上原位微型银氯化银参比电极在脑科学或生物活体监测方面具有广泛的应用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111649840B
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN202010381499.0
申请日：2020-05-08
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01K11/3206 , G02B6/42
Abstract: 本发明提供一种光学谐振器低温温度传感器及其制备、封装方法，包括器件，器件包括晶圆基片和温度敏感薄膜，温度敏感薄膜设有输入光栅耦合器、输出光栅耦合器和光信号传输部件，光信号传输部件包括光波导和光学谐振腔，光波导与输入光栅耦合器、输出光栅耦合器耦合，光波导用于传输光信号及与光学谐振腔的光信号耦合，光学谐振腔对光场具有限制作用；温度敏感薄膜上方设有一层保护层，且保护层位于器件的顶层。本发明利用光波导的高传输效率及高热光效应性能，具有较高的分辨率及灵敏度，品质因数Q值高达105～106，并通过设计夹持光纤的光纤槽，使用耐低温胶，实现光纤与光栅的高效耦合封装，在常温至低温温区仍能实现信号的输入、输出。
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公开(公告)号：CN112366127B
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202011071633.3
申请日：2020-10-09
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种固态掩膜聚焦的大气压低温等离子体射流加工方法及应用，包括：在待加工材料表面上旋涂一层掩膜材料，经固化后形成固态掩膜层；采用大气压低温等离子体射流刻蚀固态掩膜层，并使大气压低温等离子体射流刻穿固态掩膜层，在固态掩膜层形成漏斗状结构，对大气压低温等离子体射流起到聚焦作用；之后大气压低温等离子体射流穿过漏斗状结构与待加工材料表面接触，对待加工材料表面进行微加工；刻蚀完成后，去除所述固态掩膜层。本发明对于待加工材料表面无需加工的区域起到保护作用，杜绝加工区域周边出现牛顿环现象，同时降低了大气压低温等离子体射流的加工线宽，从而有效提高表面加工质量。
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公开(公告)号：CN110011565B
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN201910260512.4
申请日：2019-04-02
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种能量采集器以及植入式自供能医疗电子器件，能量采集器包括压电层、金属基底层、弹性支撑层和封装层，压电层设置于金属基底层上形成压电层复合层，金属基底层用于维持结构的稳定性；压电层复合层设置于弹性支撑层上形成一体复合层结构，弹性支撑层是器件整体结构形貌的骨架，用于承载压电层和提供弹性恢复力；封装层设置于一体复合层结构的外层，用于对器件进行电绝缘和液体防渗漏封装，防止体内组织液对器件性能产生影响和/或器件内有害物质在体内的泄露。本发明采用生物体本身的机械能作为初始的能量来源以及高生物兼容性的材料为器件封装，为实现真正自供能的可植入医疗电子器件提供有效的能源解决方案。
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公开(公告)号：CN111134654B
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN201911357618.2
申请日：2019-12-25
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种集成内部金属屏蔽层的光电神经探针及制备方法，包括：电生理信号记录通道，用于将神经电信号从电极点传导至采集系统的通路；激光二极管供电通道，用于将脉冲式的电流或者电压信号传导至神经探针基部的焊盘处用于驱动激光二极管工作的通路；金属屏蔽层，集成于电生理信号记录通道与激光二极管供电通道之间。本发明不但具有神经信号记录和光刺激功能，其在探针基部集成的中间金属屏蔽层，将电生理信号记录通道和激光二极管的供电通道分层隔离，使电生理通道记录到的电磁干扰产生的刺激跟随伪迹有很大的衰减，降低了在动物体内进行光遗传实验中刺激跟随伪迹对神经动作电位造成的污染。本发明采用MEMS工艺，具有较高的复现性。
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公开(公告)号：CN112870562A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202110012155.7
申请日：2021-01-06
Applicant: 上海交通大学
IPC: A61N7/00
Abstract: 本发明提供一种植入式压电MEMS超声换能器及其制备方法，包括：设有压电MEMS超声换能器单元阵列的压电MEMS超声换能器基片，通过后端电路控制压电MEMS超声换能器单元阵列进行三维超声聚焦，实现对颅内的指定位置或多个位置进行聚焦超声刺激和超声成像；用于将压电MEMS超声换能器基片植入颅内的植入衬底；植入衬底的上面与压电MEMS超声换能器基片的底面键合在一起；植入衬底上表面设有多个用于采集脑电信号的采集电极，采集电极分布于压电MEMS超声换能器基片两侧；根据采集电极采集的脑电信号和反射的超声波，判断是否达到刺激效果。本发明实现植入式三维空间的超声聚焦刺激，刺激效果好；同时实现三维空间的超声成像，从而可分析刺激效果。
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