-
公开(公告)号：CN102615872A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201110427162.X
申请日：2011-12-19
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: B32B9/04
Abstract: 本发明提供一种显示较高的水蒸气阻挡性的水蒸气阻挡膜。一种水蒸气阻挡膜，使用由第1氧化物(X)构成的蒸镀材和由第2氧化物(Y)构成的蒸镀材，利用通过反应性等离子体蒸镀法同时蒸镀的共蒸镀法成膜，且由2种氧化物构成，其特征在于，当阻挡膜的膜厚在30～500nm范围内时，满足θ×ΔB≥50(其中，50°≤θ≤125°，ΔB＞0.4)。另外，θ表示成膜后在温度25℃、相对湿度50％RH的条件下至少保持一天的水蒸气阻挡膜的水滴接触角，ΔB表示第1氧化物(X)的碱度BX与第2氧化物(Y)的碱度BY之差的绝对值。并且，将在水蒸气阻挡膜中的第1氧化物(X)的含有比例设为x摩尔、第2氧化物(Y)的含有比例设为y摩尔时，x及y满足0.05≤x/(x+y)≤0.95。
-
公开(公告)号：CN102191455A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110065631.8
申请日：2011-03-14
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，第一氧化物粉末为Ga2O3粉末，第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，第二氧化物粉末为选自ZnO、MgO和CaO中的一种粉末或两种以上的混合粉末，第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粒子和第二氧化物粒子的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的比例为5～85∶95～15，且颗粒的碱度为0.1以上。
-
公开(公告)号：CN102162085A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN201110036990.0
申请日：2011-02-10
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，第一氧化物粉末为SiO2粉末，第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，第二氧化物粉末为选自ZnO、MgO和CaO中的一种粉末或两种以上的混合粉末，第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粒子和第二氧化物粒子的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的摩尔比为5～85∶95～15，且颗粒的碱度为0.1以上。
-
公开(公告)号：CN102965629B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201210270076.7
申请日：2012-07-31
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: C23C14/34 , C23C14/08 , C04B35/453 , C04B35/14
Abstract: 本发明提供一种适于形成透明性及气体遮断性优异的薄膜的溅射靶及其制造方法、利用该靶得到的薄膜、具备该薄膜的薄膜片以及层叠片。本发明的溅射靶，其特征在于，由将氧化锌（ZnO）和二氧化硅（SiO2）作为主要成分的烧结体构成，烧结体的相对密度为95%以上，氧化锌（ZnO）与二氧化硅（SiO2）的摩尔比为40：60～95：5。
-
公开(公告)号：CN102615872B
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201110427162.X
申请日：2011-12-19
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: B32B9/04
Abstract: 本发明提供一种显示较高的水蒸气阻挡性的水蒸气阻挡膜。一种水蒸气阻挡膜，使用由第1氧化物(X)构成的蒸镀材和由第2氧化物(Y)构成的蒸镀材，利用通过反应性等离子体蒸镀法同时蒸镀的共蒸镀法成膜，且由2种氧化物构成，其特征在于，当阻挡膜的膜厚在30～500nm范围内时，满足θ×ΔB≥50(其中，50°≤θ≤125°，ΔB＞0.4)。另外，θ表示成膜后在温度25℃、相对湿度50％RH的条件下至少保持一天的水蒸气阻挡膜的水滴接触角，ΔB表示第1氧化物(X)的碱度BX与第2氧化物(Y)的碱度BY之差的绝对值。并且，将在水蒸气阻挡膜中的第1氧化物(X)的含有比例设为x摩尔、第2氧化物(Y)的含有比例设为y摩尔时，x及y满足0.05≤x/(x+y)≤0.95。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102965630A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201210270117.2
申请日：2012-07-31
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: C23C14/34 , C23C14/08 , C04B35/453 , C04B35/14
Abstract: 本发明提供一种适于形成透明性及气体遮断性优异的薄膜的溅射靶及其制造方法、利用该靶得到的薄膜、具备该薄膜的薄膜片以及层叠片。本发明的溅射靶，其特征在于，由将氧化锌（ZnO）和一氧化硅（SiO）作为主要成分的烧结体构成，烧结体的相对密度为95%以上，氧化锌（ZnO）与一氧化硅（SiO）的摩尔比为40：60～95：5。
-
公开(公告)号：CN102621048A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201110427069.9
申请日：2011-12-19
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: G01N15/08
Abstract: 本发明提供水蒸气阻挡性的评价方法，该方法无需实际测定水蒸气透过率，就能够轻松评价水蒸气阻挡膜的水蒸气阻挡性。使用由第1氧化物(X)构成的蒸镀材和由第2氧化物(Y)构成的蒸镀材、或包含第1氧化物(X)及第2氧化物(Y)双方的蒸镀材，对通过真空成膜法成膜的水蒸气阻挡膜的水蒸气阻挡性进行评价的方法，其特征在于，将由下述公式(1)计算的S1的值当作在温度40℃、相对湿度90％RH的条件下放置1小时后以温度40℃、相对湿度90％RH的条件测定的水蒸气阻挡膜的水蒸气透过率S(g/m2·天)进行评价。公式(1)：log10S1＝-0.015×(θ×ΔB)-0.25，公式(1)中，θ表示水滴接触角，ΔB表示第1氧化物(X)的碱度Bx与第2氧化物(Y)的碱度By之差的绝对值。
-
公开(公告)号：CN102312193A
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201110179523.3
申请日：2011-06-22
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供了一种薄膜形成用蒸镀材及具备该薄膜的薄膜片以及层叠片，所述蒸镀材适于形成透明性及气体遮断性优异的薄膜。一种混合第1氧化物粉末和第2氧化物粉末而成的蒸镀材，其特征在于，第1氧化物粉末为MgO粉末，第1氧化物粉末的第1氧化物纯度为98％以上，第2氧化物粉末为ZnO粉末，第2氧化物粉末的第2氧化物纯度为98％以上，蒸镀材由含有第1氧化物粉末和第2氧化物粉末的颗粒构成，蒸镀材中的第1氧化物与第2氧化物的比率为5～85∶95～15，而且颗粒的碱度为0.1以上。
-
公开(公告)号：CN102191463A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110065635.6
申请日：2011-03-14
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 本发明提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，第一氧化物粉末为CeO2粉末，第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，第二氧化物粉末为MgO或CaO中的任意一种粉末，或者选自ZnO、MgO和CaO中的两种以上的混合粉末，第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粒子和第二氧化物粒子的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的比例为5～85∶95～15，且颗粒的碱度为0.1以上。
-
公开(公告)号：CN102433532B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201110299927.6
申请日：2011-09-28
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: C23C14/08 , H01L31/048 , H01L31/049 , H01L51/52 , B32B9/00
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 本发明提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，上述第一氧化物粉末为MgO粉末，第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，上述第二氧化物粉末为CaO和ZnO的混合粉末，第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粉末和第二氧化物粉末的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的摩尔比为5～90∶95～10，且颗粒的碱度为0.1以上。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
29
records
(took 0.026 seconds)
