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公开(公告)号：CN107112367A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201680005079.4
申请日：2016-01-05
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L29/786 , G02F1/1343 , G02F1/1368 , G09F9/00 , G09F9/30 , H01L21/28 , H01L21/3205 , H01L21/336 , H01L21/768
Abstract: 本发明涉及构成液晶显示装置的薄膜晶体管基板，具备薄膜晶体管、第一电极、栅极布线以及源极布线，所述薄膜晶体管具有：栅电极；栅极绝缘膜，覆盖栅电极；半导体层，设置于隔着栅极绝缘膜而与栅电极相向的位置；沟道保护膜，覆盖半导体层；保护膜，覆盖沟道保护膜上；以及源电极和漏电极，经由以贯通保护膜及沟道保护膜的方式设置的第一接触孔而与半导体层相接，所述第一电极与漏电极电连接，所述栅极布线从栅电极延伸，所述源极布线与源电极电连接，源极布线和源电极以及第一电极和漏电极分别经由贯通保护膜的第二接触孔而电连接，第一电极和源极布线具有在第一绝缘膜上形成的第一透明导电膜，第一绝缘膜用与沟道保护膜相同的材料形成。
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公开(公告)号：CN104160368B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201380013208.0
申请日：2013-02-21
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: G06F3/044 , G02F1/13338 , G06F3/0412 , G06F3/047 , G06F2203/04112 , H05K1/0274 , H05K1/0298 , H05K1/09 , H05K2201/0302 , H05K2201/10128 , H05K2201/10151
Abstract: 本发明的目的在于提供检测精度以及显示品质优异、且在外部光的照明下也能够实现优异的可见性的触摸屏、以及具有该触摸屏的触摸面板、显示装置以及电子仪器。检测用列配线(2)以及检测用行配线(3)通过由具有光反射性的导电性材料、例如银或铝等金属或合金形成的细线构成。将多条检测用列配线(2)每隔规定条数进行电气连接，形成多条列方向束配线。另外，将多条检测用行配线(3)每隔规定条数进行电气连接，形成多条行方向束配线。另外，设置反射光配光用图案(11)。反射光配光用图案(11)配置为，包含在从与触摸屏表面垂直的方向观察时形成为曲线状的曲线部分，曲线部分的法线朝向全方位。
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公开(公告)号：CN106062684A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201480076804.8
申请日：2014-12-22
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G06F3/041 , G02F1/1333 , G06F3/044
CPC classification number: G06F3/0412 , G02F1/133345 , G02F1/13338 , G02F1/133502 , G06F3/044 , G06F2203/04103 , G06F2203/04112
Abstract: 本发明提供一种显示面板，具备：显示功能部(3)，形成为在对置的透明基板(14、58)之间夹着显示功能层；以及触摸屏幕部(1)，构成为具有由金属的导电材料构成的下部布线(20)以及上部布线(30)，在下部布线(20)与上部布线(30)之间配置层间绝缘膜(11)，用保护膜(12)覆盖下部布线(20)、上部布线(30)以及层间绝缘膜(11)，其中，触摸屏幕部(1)的下部布线(20)形成于在观察者侧配置的透明基板(14)的观察者侧的面。这样，下部布线(20)以及上部布线(30)由在化学上稳定的金属布线材料构成，形成于显示功能部(3)的透明基板(14)上，所以能够形成耐水性、耐化学药品性优良的层间绝缘膜(11)以及保护膜(12)而实现优良的耐环境性，并且使装置薄型化、轻质化。
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公开(公告)号：CN105144056A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480011395.3
申请日：2014-03-07
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: G06F3/047 , G02F1/13338 , G06F3/0412 , G06F3/044 , G06F2203/04112 , G09G3/00 , G09G2300/0426
Abstract: 提供检测精度以及显示品质优良并且在外部光的照明下也能够实现优良的视觉辨认性的触摸屏幕、具备其的触摸面板、显示装置以及电子设备。用由具有光反射性的导电性材料例如银或者铝等金属或者合金构成的细线，构成检测用列布线(2)以及检测用行布线(3)。将多根检测用列布线(2)电连接规定的根数，而作为多个列方向束布线。另外，将多根检测用行布线(3)电连接规定的根数，而作为多个行方向束布线。另外，设置反射光配光用图案(11)。反射光配光用图案(11)被配置成包括在从与触摸屏幕表面垂直的方向观察时曲线状地形成的曲线部分，曲线部分的法线朝向全方位，进而，以在像素的短边方向上不重叠的方式，分散地配置曲线部分中的法线与像素的长边方向垂直的区域。
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公开(公告)号：CN104571754A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410578389.8
申请日：2014-10-24
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G06F3/044
CPC classification number: G06F3/044 , G06F3/0416 , G06F3/0412
Abstract: 本发明提供一种列方向束配线的宽度以及行方向束配线的宽度的设计自由度较高的触摸屏。在列方向束配线(20)与行方向束配线(30)的交叉区域中，对配设检测用列配线(2)以及第1浮动配线(3F)的列配线块状区域与配设检测用行配线(3)以及第2浮动配线(2F)的行配线块状区域进行交错配置。列方向束配线(20)包含配设有检测用列配线(2)的第1插补区域，该检测用列配线(2)使在倾斜方向上相邻的列配线块状区域的检测用列配线(2)之间电气连接，行方向束配线(30)包含配设有检测用行配线(3)的第2插补区域，该检测用行配线(3)使在倾斜方向上相邻的行配线块状区域的检测用行配线(3)之间电气连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104160368A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201380013208.0
申请日：2013-02-21
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: G06F3/044 , G02F1/13338 , G06F3/0412 , G06F3/047 , G06F2203/04112 , H05K1/0274 , H05K1/0298 , H05K1/09 , H05K2201/0302 , H05K2201/10128 , H05K2201/10151
Abstract: 本发明的目的在于提供检测精度以及显示品质优异、且在外部光的照明下也能够实现优异的可见性的触摸屏、以及具有该触摸屏的触摸面板、显示装置以及电子仪器。检测用列配线(2)以及检测用行配线(3)通过由具有光反射性的导电性材料、例如银或铝等金属或合金形成的细线构成。将多条检测用列配线(2)每隔规定条数进行电气连接，形成多条列方向束配线。另外，将多条检测用行配线(3)每隔规定条数进行电气连接，形成多条行方向束配线。另外，设置反射光配光用图案(11)。反射光配光用图案(11)配置为，包含在从与触摸屏表面垂直的方向观察时形成为曲线状的曲线部分，曲线部分的法线朝向全方位。
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公开(公告)号：CN101611345B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200880004975.4
申请日：2008-02-04
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G02F1/1368 , G02F1/1345 , G02F1/1343 , H01L29/786
CPC classification number: G02F1/13439 , G02F1/133555 , G02F1/136227 , G02F2001/136295 , G02F2201/40 , G02F2202/06 , H01L27/124 , H01L29/458
Abstract: 本发明的显示装置(1B)包括：在衬底(3)上形成的金属导电层(21)；在同一衬底上形成的与上述金属导电层接合的透明导电膜(39)；把金属导电层(21)与透明导电膜(39)隔离的层间绝缘膜(25)。金属导电层(21)具有：由铝或铝合金构成的下层铝层(40a)；由含有杂质的铝或铝合金构成的、在下层铝层(40a)的上表面的大致整个表面上形成的中间杂质含有层(41a)；由铝或铝合金构成的、在中间杂质含有层(40a)上形成的上层铝层(42a)，在层间绝缘膜(25)和上层铝层(42a)中以局部地露出中间杂质含有层(41a)的方式贯通设置接触孔(27)，透明电极膜(39)通过从接触孔(27)露出的中间杂质含有层(41a)与金属导电层(21)接合。
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公开(公告)号：CN101465296A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200810178050.3
申请日：2008-12-19
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L21/336 , H01L21/285 , H01L29/786 , H01L29/51
CPC classification number: H01L29/4908 , H01L29/66765
Abstract: 本发明提供良好地保持特性并且可靠性较高的薄膜晶体管及其制造方法和搭载了该薄膜晶体管的显示装置。本发明一实施方式的薄膜晶体管的制造方法具备在栅电极(2)上形成栅极绝缘膜(3)的工序，栅极绝缘膜(3)至少具备与氢化非晶硅膜(4)接触的第一区域(11)和与该第一区域(11)相比位于下层的第二区域(12)，第一区域(11)以及第二区域(12)使用由NH3、N2、SiH4构成的原料气体、和H2或由H2与He构成的气体形成，对于第一区域(11)来说，使NH3和SiH4的流量比(NH3/SiH4)为11以上且14以下进行成膜，对于第二区域(12)来说，使NH3和SiH4的流量比(NH3/SiH4)为4以下进行成膜。
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公开(公告)号：CN101110432A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200710136637.3
申请日：2007-07-18
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L27/12 , H01L29/786 , H01L29/36 , H01L21/84 , H01L21/336
CPC classification number: H01L29/78696 , H01L27/1296 , H01L29/66757 , H01L29/78612 , H01L29/78621 , H01L29/78624
Abstract: 本发明提供性能稳定的薄膜晶体管阵列基板、其制造方法及显示装置。本发明的一种形态的薄膜晶体管阵列基板是一种具备半导体层(22)和栅电极(24)的薄膜晶体管阵列基板，该半导体层(22)具有形成在绝缘基板(21)上的第1导电型的源极区域(221)、第1导电型的漏极区域(222)以及配置在源极区域(221)和漏极区域(222)之间的沟道区域(223)，该栅电极(24)则隔着栅极绝缘膜(23)配置在沟道区域(223)的对面；沟道区域(223)含有在膜厚方向上以预定分布导入的第2导电型杂质；在沟道区域(223)与绝缘基板(21)的界面附近或绝缘基板(21)一侧具有第2导电型杂质的最大浓度点。
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公开(公告)号：CN1691354A
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：CN200510065700.X
申请日：2005-04-21
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L29/786 , G02F1/136 , H01L27/088 , H04N5/66 , H01L21/336 , H01L21/8234
Abstract: 提供一种半导体装置和图像显示装置，可以提高源漏耐压和AC应力耐性，且获得所希望的电流特性。为此，在玻璃基板(1)上形成硅氮化膜(2)和硅氧化膜(3)。在该硅氧化膜(3)上形成包含源区(45)、漏区(46)、具有规定沟道长度方向上的长度的沟道区(40)、杂质浓度都比源区低的GOLD区(41)和LDD区(43)、杂质浓度都比漏区低的GOLD区(42)和LDD区(44)、栅绝缘膜(5)和栅电极(6a)的薄膜晶体管(T)。栅电极(6a)与沟道区(40)和GOLD区(41、42)相对置地重叠。
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