半导体器件
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1346153A

    公开(公告)日:2002-04-24

    申请号:CN01137968.5

    申请日:2001-09-29

    CPC classification number: H01L21/02686 H01L21/02691 H01L21/2026

    Abstract: 在电源线16与有机EL元件60之间并列形成元件驱动用晶体管TFT2a、TFT2b,该TFT2a、TFT2b的有源层12在使其多晶化退火所用的激光扫描方向相互分开。由此可以减少TFT2a、TFT2b的退火条件不完全相同,而在晶体管TFT2a、TFT2b的中产生同样的不适的可能性。激光扫描方向在图中列方向移动时,单个或多个晶体管TFT2(TFT2a、TFT2b)最好配置成其沟道纵向与该扫描方向一致。

Patent Agency Ranking