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公开(公告)号：CN2774746Y
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200420118386.8
申请日：2004-10-14
Applicant: 麦丰密封科技股份有限公司
Abstract: 橡胶密封圈半成品内圈毛边清除装置，它是将橡胶密封圈半成品固定在下固定座上，上活动座上设有多组夹板构成内圈毛边夹紧机构，内圈毛边夹紧机构可将橡胶密封圈半成品的内圈毛边工艺柱夹紧，上活动座靠与下固定座连接的连杆摆动或外力控制上活动座，实现上活动座与下固定座相对运动，将橡胶密封圈半成品的内圈毛边清除。本实用新型具有结构简单，提高生产效率，保证产品质量等优点，特别适用于小型橡胶密封圈的生产使用。
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公开(公告)号：CN2704722Y
公开(公告)日：2005-06-15
申请号：CN200420059910.9
申请日：2004-05-24
Applicant: 麦丰密封科技股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种橡胶密封圈的半成品结构，包括若干个密封圈本体、载有密封圈本体的模板和内圈毛边，在密封圈本体和内圈毛边沟之间设有内圈毛边沟，在密封圈本体与模板以及密封圈本体与内圈毛边之间设有切嘴，在内圈毛边上设有用于夹持的凸起。本实用新型的橡胶密封圈半成品结构，只要用手工夹具或自动机械爪将成直线型排列的橡胶小立柱向上拉，即可完整、快速、一次性地摘除一模多穴橡胶密封圈内圈毛边，大大提高工作效率，降低了成本。
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公开(公告)号：CN210118451U
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201920639931.4
申请日：2019-05-07
Applicant: 麦丰密封科技股份有限公司
IPC: F16J15/00
Abstract: 一种密封组件，设置于第一构件的鸠尾槽中，用以使所述第一构件与第二构件结合，所述密封组件包括第一密封组件以及第二密封组件，其中第一密封组件设置于所述鸠尾槽的所述底面上，所述第二密封组件则设置于所述第一密封组件上并凸出所述鸠尾槽的开口，其中所述第二密封组件具有凹陷部，且所述第一密封组件位于所述凹陷部内。
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公开(公告)号：CN2782353Y
公开(公告)日：2006-05-24
申请号：CN200420115555.2
申请日：2004-11-15
Applicant: 麦丰密封科技股份有限公司
Abstract: 橡胶密封圈半成品外圈毛边清除装置，它是将橡胶密封圈半成品夹紧在压板和托板之间，毛边一端固定在压板上，一组活动卡勾可将橡胶密封圈半成品中的密封圈固定在托板上，压板相对托板一端转动张开，随着压板的张开，使橡胶密封圈半成品的密封圈与毛边分离，达到清除毛边的目的，本实用新型具有结构简单，提高生产效率，保证产品质量等优点。特别适用于小型橡胶密封圈的生产使用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN208938918U
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201821778556.3
申请日：2018-10-26
Applicant: 麦丰密封科技股份有限公司
IPC: H01J37/32 , H01L21/687
Abstract: 一种半导体制程设备，包含上部组件、下部组件、环状凹口以及弹性体。上部组件是用以承载一晶圆。下部组件具有侧壁表面，用以承载上部组件。环状凹口是位于下部组件及上部组件之间。弹性体是设置于凹口内，其中弹性体具有相互连接的本体以及延伸部，延伸部凸出于本体以及侧壁表面，且沿侧壁表面延伸。
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公开(公告)号：CN214743294U
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202120499881.1
申请日：2021-03-05
Applicant: 麦丰密封科技股份有限公司
Abstract: 一种静电吸附承盘用的弹性密封环，其设置于一静电吸附承盘的沟槽中。该弹性密封环包括：一主密封部以及一固定部；其中，该主密封部具有一第一最大垂直厚度，该第一最大垂直厚度大于或等于该沟槽的垂直高度；该固定部由该主密封部朝向该沟槽的方向凸出成型，且该固定部具有一第二最大垂直厚度，该第二最大垂直厚度等于或小于该沟槽的垂直高度，且该第一最大垂直厚度大于该第二最大垂直厚度；以及该主密封部和该固定部于径向方向上的总长度与所述沟槽于径向方向的长度相等。
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公开(公告)号：CN210978513U
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201921680581.2
申请日：2019-10-09
Applicant: 麦丰密封科技股份有限公司
Abstract: 一种密封环，设置在半导体工艺设备中，包括本体以及第一延伸部，前述第一延伸部朝前述密封环的内侧方向凸出于前述本体。特别地是，前述第一延伸部嵌入前述半导体工艺设备的晶座本体以及连接层之间，以防止工艺流体侵蚀前述连接层。
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公开(公告)号：CN210607176U
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201921680582.7
申请日：2019-10-09
Applicant: 麦丰密封科技股份有限公司
Abstract: 一种环状的密封机构，设置在半导体工艺设备中，包括密封层、弹性层以及保护层。前述密封层设置在前述半导体工艺设备的沟槽内，前述弹性层覆盖前述密封层的外侧表面，前述保护层设置在前述弹性层的外侧，其中前述保护层的硬度大于前述弹性层的硬度，且前述保护层朝前述密封机构的内侧方向压迫前述弹性层，以防止工艺流体侵蚀半导体工艺设备内部的电极。
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公开(公告)号：CN2715960Y
公开(公告)日：2005-08-10
申请号：CN200420084132.9
申请日：2004-07-22
Applicant: 麦丰密封科技股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种橡胶密封圈的模具结构，包括上模板、下模板、定位导套和定位销，上模板和下模板活动连接，在上模板与下模板之间设有形成密封圈半成品的若干个模腔、外圈毛边沟、外圈切嘴、内圈毛边沟、内圈切嘴，外圈毛边沟将若干个模腔连接成整模，在形成密封圈半成品的每个模腔内圈毛边沟的上模板或下模板上设有与内圈毛边连成一体的凹孔。本实用新型的橡胶密封圈模具所生产的橡胶密封圈半成品，只要用手工夹具或自动机械爪将直线型排列的橡胶小立柱向上斜拉，即可完整、快速、一次性的摘除一模多穴橡胶密封圈内圈毛边，大大提高工作效率，降低了成本。
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