电感耦合等离子体蚀刻装置及利用其的电感耦合等离子体蚀刻方法

    公开(公告)号:CN117223084A

    公开(公告)日:2023-12-12

    申请号:CN202280028838.4

    申请日:2022-04-13

    Abstract: 本发明公开一种电感耦合等离子体蚀刻装置,包括:反应腔室,具有接受气体源的内部空间;上线圈单元,为反应腔室内部空间激发电场,凭借电场从气体源形成电感耦合等离子体;装载单元,和上线圈单元相对,配置着由电感耦合等离子体蚀刻的被蚀刻体;及,下电极部,设于装载单元的下侧,把构成电感耦合等离子体并参与蚀刻的离子及中性自由基中的至少某一个往配置在装载单元的被蚀刻体方向诱导;下电极部的频率低于上线圈单元的频率。而且还提供下述方法,即,把其频率低于施加到上线圈单元的频率的电源施加到下电极,从而利用电感耦合等离子体蚀刻装置把用掩膜物质图案化了的被蚀刻体予以垂直蚀刻。

    温度敏感性复合物及其制备方法

    公开(公告)号:CN108778252A

    公开(公告)日:2018-11-09

    申请号:CN201780019555.2

    申请日:2017-03-14

    Inventor: 陆淳鸿

    Abstract: 本发明涉及温度敏感性复合物及其制备方法。根据本发明的温度感光复合物在室温下保持液态而在体内递送时固化,并且与现有的温度敏感性聚合物复合物相比,显示出机械性能上显著优异的改善,并且结果,温度敏感性复合物可以促进体内药物递送系统的稳定性和药物释放的维持。

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