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公开(公告)号：CN111263505A8
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201910284172.9
申请日：2019-04-10
Applicant: 新动力等离子体株式会社
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明的逆功率降低方法为用于降低从等离子负载向高频电力放大部反射的逆功率的方法，包括：输出频率倾斜度判断步骤，控制器判断从上述高频电力放大部输出的输出频率倾斜度的符号；逆功率倾斜度判断步骤，上述控制器判断从上述等离子负载向上述高频电力放大部反射的逆功率倾斜度的符号；频率变化量增减决定步骤，上述控制器根据上述输出频率倾斜度的符号与上述逆功率倾斜度的符号的组合来决定频率变化量的增减；更新步骤，上述控制器利用上述频率变化量来更新上述输出频率；以及输出频率变更步骤，若反射系数大于规定反射基准值且上述频率变化量小于规定的变动幅度设定值，则上述控制器为了脱离驼峰而变更上述输出频率。
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公开(公告)号：CN111263505A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201910284172.9
申请日：2019-04-10
Applicant: 新动力等离子体株式会社
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明的逆功率降低方法为用于降低从等离子负载向高频电力放大部反射的逆功率的方法，包括：输出频率倾斜度判断步骤，控制器判断从上述高频电力放大部输出的输出频率倾斜度的符号；逆功率倾斜度判断步骤，上述控制器判断从上述等离子负载向上述高频电力放大部反射的逆功率倾斜度的符号；频率变化量增减决定步骤，上述控制器根据上述输出频率倾斜度的符号与上述逆功率倾斜度的符号的组合来决定频率变化量的增减；更新步骤，上述控制器利用上述频率变化量来更新上述输出频率；以及输出频率变更步骤，若反射系数大于规定反射基准值且上述频率变化量小于规定的变动幅度设定值，则上述控制器为了脱离驼峰而变更上述输出频率。
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公开(公告)号：CN101779269B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN200980000397.1
申请日：2009-04-02
Applicant: 新动力等离子体株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/02 , H01L21/205 , H01L21/3065
CPC classification number: H01L21/6719
Abstract: 根据本发明的多工件处理室包括：室外壳，在该室外壳中形成有至少两个内部处理空间；至少一个分隔构件，该至少一个分隔构件设置在该室外壳中并将该室外壳隔成至少两个内部处理空间；以及各个内部处理空间，该各个内部处理空间与该分隔构件联接并具有对称形状，以均匀地产生处理反应。根据本发明的多工件处理室具有内部处理空间，所述内部处理空间通过与分隔构件联接而具有对称形状。因而，在整个内部处理区域上均匀地发生处理反应并且可提高工件处理过程的再现性和均匀性。
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公开(公告)号：CN101064986A
公开(公告)日：2007-10-31
申请号：CN200710086254.X
申请日：2007-03-09
Applicant: 新动力等离子体株式会社
Inventor： 崔大圭
IPC: H05H1/24 , H01L21/3205
Abstract: 本发明的目的在于提供一种结合有多重磁芯的电感耦合等离子体反应器，与等离子体耦合的电感耦合能量的传递效率高，可以稳定地维持等离子体，可以稳定地得到高密度的等离子体。本发明的电感耦合等离子体反应器结合有变压器，变压器具有用于向反应器主体的等离子体放电室传递等离子体放电的电动势的多重磁芯、和初级线圈。位于等离子体放电室内部的磁芯部分，由芯保护管整体覆盖而受保护。初级线圈与提供射频功率的电源供给源电连接。在电感耦合等离子体反应器中，多个磁芯横截部分位于等离子体放电室的内部，与等离子体耦合的电感耦合能量的传递效率很高。
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公开(公告)号：CN109772783B
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN201810803238.6
申请日：2018-07-20
Applicant: 三星显示有限公司 , 新动力等离子体株式会社
Abstract: 蒸汽清洗装置包括：蒸气生成器，用于生成饱和蒸气；过热器，通过对所述饱和蒸气进行过热而生成过热蒸气；第一阀，位于所述蒸气生成器与所述过热器之间，用于调节向所述过热器注入的所述饱和蒸气的量；喷嘴部，被连接到所述过热器；以及第二阀，位于所述蒸气生成器与所述喷嘴部之间，用于调节向所述喷嘴部供给的所述饱和蒸气的量，所述喷嘴部喷射所述饱和蒸气和所述过热蒸气中的至少一种蒸气。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110400734B
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN201910192335.0
申请日：2019-03-14
Applicant: 新动力等离子体株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明的虚拟电阻自动匹配方法包括：步骤(a)，按工序种类、工序配方及工序配方的各个工序步骤来确定上述射频发生器的输入参数及上述等离子腔室的负荷条件参数；步骤(b)，以各个工序的上述射频发生器的输入参数为基础来向上述电阻匹配器施加射频开启信号；步骤(c)，判断构成上述电阻匹配器的负荷用真空可变电容器和调谐用真空可变电容器的初始设定位置是否在匹配范围内；步骤(d)，若不满足上述步骤(c)，则向上述电阻匹配器施加射频关闭信号，发生表示匹配范围脱离的警告信号；步骤(e)，若满足上述步骤(c)，则通过使上述电阻匹配器进行工作来开始进行匹配；步骤(f)，若完成匹配，则按成功匹配的工序步骤分析与基于电阻变化的50+j0有关的振幅误差及相位误差来确定上述负荷用真空可变电容器和上述调谐用真空可变电容器的初始设定位置；以及步骤(g)，按所有工序步骤进行上述步骤(a)至上述步骤(f)，向上述电阻匹配器发送各个工序步骤的上述负荷用真空可变电容器和上述调谐用真空可变电容器的初始设定位置。
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公开(公告)号：CN110212762A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201811306714.X
申请日：2018-11-05
Applicant: 新动力等离子体株式会社
IPC: H02M3/158
Abstract: 本发明涉及提高脉冲功能的高频功率发生装置，用于向等离子体负载供给高频功率，包括：整流器；直流-直流变换器；射频功率放大器；射频功率控制器；以及直流-直流变换器控制器；上述直流-直流变换器控制器包括：第一减法器；第一比例积分控制器；第二减法器；第二比例积分控制器；比较器，通过比较上述第二比例积分控制器的输出和载流子频率，来生成脉冲宽度调制信号，并向构成上述直流-直流变换器的开关元件提供所生成的脉冲宽度调制信号；以及适应型控制器，从上述射频功率控制器接收与上述射频功率放大器的输出相对应的脉冲信号，来调整上述第一比例积分控制器及上述第二比例积分控制器的增益。
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公开(公告)号：CN109772783A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201810803238.6
申请日：2018-07-20
Applicant: 三星显示有限公司 , 新动力等离子体株式会社
Abstract: 蒸汽清洗装置包括：蒸气生成器，用于生成饱和蒸气；过热器，通过对所述饱和蒸气进行过热而生成过热蒸气；第一阀，位于所述蒸气生成器与所述过热器之间，用于调节向所述过热器注入的所述饱和蒸气的量；喷嘴部，被连接到所述过热器；以及第二阀，位于所述蒸气生成器与所述喷嘴部之间，用于调节向所述喷嘴部供给的所述饱和蒸气的量，所述喷嘴部喷射所述饱和蒸气和所述过热蒸气中的至少一种蒸气。
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公开(公告)号：CN1812678B
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN200610002477.9
申请日：2006-01-26
Applicant: 新动力等离子体株式会社
IPC: H05B41/14 , H01F29/04 , H05B41/38 , G02F1/13357
CPC classification number: H05B41/2822
Abstract: 本发明的课题是提供一种多灯驱动系统，可以更有效地并列驱动多个放电灯，可以进一步提高多个放电灯的亮度均匀性，并且提供一种多灯驱动系统，可以根据在无源型显示器上显示的图像的明亮度特性，将多个放电灯的亮度调节成使彼此不同。该多灯驱动系统包括：电源变压器，从交流电源供给源被供给交流电源，并产生正电压(V_p)和负电压(V_n)；和电流均衡分配器，被施加了电源变压器的正电压并分割为多个电压，所分割的电压被分别施加到多个放电灯的第一电极，分配电流量以使输入各个放电灯的电流值相互均衡，电源变压器的负电压被共同施加给多个放电灯的第二电极。
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公开(公告)号：CN101461051B
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200780019750.1
申请日：2007-05-01
Applicant: 新动力等离子体株式会社
Inventor： 魏淳任
IPC: H01L21/677
Abstract: 提供一种基板传输设备和使用该设备的基板处理系统，该基板传输设备用于连续地将多个基板装载在处理室内/从处理室卸载多个基板，以减少传输基板所花的时间并提高生产量。基板传输设备安装在传输室内，且在第一和第二处理室与装载锁定室之间传输基板，第一和第二处理室位于传输室的横向侧。该基板传输设备包括：驱动单元，以供给旋转力；主轴，连接至该驱动单元；第一回转板臂，以装载基板至该第一处理室/从该第一处理室卸载基板；和第二回转板臂，以装载基板至该第二处理室/从该第二处理室卸载基板。因为在同时且连续处理多个基板期间，快速地交换处理前的基板和处理后的基板，所以可增加处理速率和总生产量。
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